На етапі літографії процес „м’якого“ та „жорсткого“ випалювання є тим моментом, коли визначається профіль фотопрезисту. Зміна температури на 2°C може призвести до зміни значень Ttop на 20 нм, а це, у свою чергу, призводить до змін ширини ліній на поверхні пластини. Необхідно мати контроль за температурою, який дозволяє її вимірювати, повторювати та відстежувати.
Що є важливим у цьому процесі?
Ми створили точний інфрачервоний датчик, який складається з стабільного випромінювача уф-світла та каліброваного детектора. Це дозволяє підтримувати температурну однорідність на рівні ±0,1°C під час випалювання. Корпус датчика може проникати через вузькі отвори в печі, а оптика захищена від витоку газів, що забезпечує стабільні показання в чистих кімнатах класу 1–100. Відсутність утворення частинок – це не просто слоган; це результат відсутності обертових елементів та фіксованого способу вирівнювання променя. Повторюваність показань залишається на рівні 0,1% протягом усього часу роботи, тож не потрібна корекція параметрів під час тривалих процедур.
Чому це важливо під час випалювання?
Під час процесу випалювання фотопрезисту необхідно дотримуватися суворих температурних параметрів. Цей датчик забезпечує стабільність температури на всій поверхні пластини, що дозволяє краще контролювати критичні розміри та зменшує кількість необхідних корекцій. Це також дозволяє розширити діапазон температур без втрати продуктивності, а кількість відходів зменшується, оскільки будь-які відхилення виявляються відразу. Стабільність обладнання також покращується – менше хибних сигналів та менше неспланованих втручань. Результатом є вища продуктивність та можливість планування часу виконання процедур.
Що потрібно зробити правильно?
Встановлення датчика полягає у підборі правильних параметрів для випромінювача та детектора. Якщо це не зробити правильно, показання будуть неточними. Ми постачаємо кіт для калібрування, призначений для поширених типів фотопрезисту, але для нових типів може знадобитися окрема калібрування. Необхідно провести коротку перерву в роботі, щоб підключити датчик до контролера печі та вирівняти промінь. Після цього система буде працювати з мінімальним обслуговуванням.