Кращий спосіб сушіння пластин MEMS (без витрачання енергії)
Будемо чесними: традиційне сушіння пластин MEMS є дуже повільним процесом. Чи використовуєтесь ви конвективні печі чи метод обертального сушіння – у будь-якому разі ви просто чекаєте, поки велика кількість енергії йде на марно. Це повільно, це невигідно та застаріло.
Ми знайшли кращий спосіб. Замість того, щоб нагрівати всю кімнату лише для сушіння однієї пластини, ми використовуємо низькочастотне інфрачервоне опромінювання. Це зовсім інший підхід – замість нагрівання повітря ми нагріваємо самі молекули води. Вода просто зникає.
Фізика цього процесу насправді досить цікава.
У процесі виробництва MEMS необхідно знайти правильний баланс – достатньо тепла для виконання завдання, але не настільки багато, щоб пластина деформувалась. Наші інфрачервоні лампи випромінюють світло на певній довжині хвилі, яке ефективно усуває той тонкий шар води, що залишається після процесу обробки.
Оскільки енергія не витрачається на нагрівання повітря в камері, споживання енергії значно знижується. Це корисно як для скорочення часу виробництва, так і для зменшення викидів вуглецю.
А тепер трохи про обладнання.
Ми виготовляємо ці лампи за допомогою галогенних філементів та кварцових труб високої чистоти. Результат? Тепло потрапляє на пластину майже миттєво.
Але є одна проблема: ці лампи не можна просто підключити до будь-якої схеми. Їхня потужність дуже висока. Якщо намагатися обійти правила, підвищуючи потужність, це може призвести до проблем – наприклад, до термічних ударів чи появи „гарячих точок“, які можуть пошкодити структуру MEMS.
Щоб усе працювало без проблем, необхідний точний контроль. Ми рекомендуємо використовувати контролери типу PID разом із пірометрами з швидкою реакцією. Це дозволяє підтримувати стабільну температуру та уникнути перегріву.
Як запустити лампи та підтримувати їх у робочому стані
Найкраще те, що ці лампи є заміною для існуючих моделей. Ми використовуємо стандартні з’єднувачі, тож вам не потрібно кілька днів на перепідключення обладнання.
Однак потрібно звернути увагу на чистоту ламп. Хімічні пари можуть пошкодити кварцові труби. Ми використовуємо зміцнене скло, але все одно потрібно стежити за станом ламп та уникати його забруднення.
Якщо труби забрудняться, теплопередача буде погіршуватися, а ефективність використання енергії – знижуватися. Якщо підтримувати чистоту оптичних елементів, цілі щодо створення „зеленої фабрики“ залишаться досяжними.