http://warm-ir-heater-build.com/uk/tags/%D1%82%D0%BE%D1%87%D0%BD%D1%96%D1%81%D1%82%D1%8C/ Recent content in Точність on Custom Warm IR Heater Builds Hugo uk Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/uk/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Tue, 23 Jun 2026 13:34:22 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/uk/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Точний інфрачервоний датчик для пластин"></p> <p>На етапі літографії процес „м’якого“ та „жорсткого“ випалювання є тим моментом, коли визначається профіль фотопрезисту. Зміна температури на 2°C може призвести до зміни значень Ttop на 20 нм, а це, у свою чергу, призводить до змін ширини ліній на поверхні пластини. Необхідно мати контроль за температурою, який дозволяє її вимірювати, повторювати та відстежувати.</p> <p><strong>Що є важливим у цьому процесі?</strong><br> Ми створили точний інфрачервоний датчик, який складається з стабільного випромінювача уф-світла та каліброваного детектора. Це дозволяє підтримувати температурну однорідність на рівні ±0,1°C під час випалювання. Корпус датчика може проникати через вузькі отвори в печі, а оптика захищена від витоку газів, що забезпечує стабільні показання в чистих кімнатах класу 1–100. Відсутність утворення частинок – це не просто слоган; це результат відсутності обертових елементів та фіксованого способу вирівнювання променя. Повторюваність показань залишається на рівні 0,1% протягом усього часу роботи, тож не потрібна корекція параметрів під час тривалих процедур.</p>