http://warm-ir-heater-build.com/uk/tags/soft/ Recent content in Soft on Custom Warm IR Heater Builds Hugo uk Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/uk/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ Thu, 02 Jul 2026 03:54:15 +0800 http://warm-ir-heater-build.com/uk/posts/lithography-soft-bake-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-build.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Елемент нагріву для процесу м якого випалювання в літографії"></p> <p>На поверсі заводу з виробництва пластин діаметром 300 мм процедура „м’якого нагрівання“ не є просто способом попереднього нагрівання. Це перший крок у контролі критичних розмірів пластини. Зміна температури на 2°C може призвести до зміни значень критичних розмірів на кілька нанометрів, що, у свою чергу, може вплинути на всю партію продукції. Елемент нагріву мусить зберігати теплову стабільність з такою ж точністю, як і оптика сканера.</p> <p><strong>Що є важливим з технічної точки зору</strong><br> Ми розробили елемент нагріву для процедури „м’якого нагрівання“, орієнтуючись на одну ключову характеристику – однорідність температури на всій площі пластини ±0,1°C. Для цього використовується галогенна лампа короткої довжини хвилі, розташована всередині кварцової оболонки високої чистоти. Це забезпечує швидку реакцію елемента нагріву з мінімальною тепловою інерцією. Це дозволяє підтримувати стабільний профіль нагрівання, що, у свою чергу, сприяє ефективному видаленню розчинника фоторезисту без перевищення допустимих значень.</p>