300 ملی میٹر لائن پر، لائن ویڈتھ کو کنٹرول کرنے کے لئے “سافٹ بیک” اور “ہارڈ بیک” عمل بہت اہم ہیں۔ ہاٹپلیٹ زون میں 2 درجہ سیلسیس کا فرق بھی پروڈکشن کو تباہ کر سکتا ہے۔ آپ کو ایسا تھرمل ذریعہ درکار ہے جو اسکینر کی درستگی کے مطابق کام کرے – صرف ہیٹر ہی کافی نہیں ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم نیئر انفراریڈ (NIR) ایمیٹر استعمال کرتے ہیں؛ یہ ویفر کی سطح پر یکساں طور پر ±0.1 درجہ سیلسیس کی درستگی کے ساتھ حرارت فراہم کرتا ہے۔ یہ حرارت کو تیزی سے، بغیر ویفر کو چھوئے ہی پہنچاتا ہے۔ اسکی سپیکٹرم ترتیب اس طرح کی گئی ہے کہ فوٹوریزسٹ حرارت کو بہتر طریقے سے جذب کرے، اور سبسٹریٹ کو کوئی نقصان نہ پہنچے۔ اس طرح حرارتی بیلنس برقرار رہتا ہے۔
یہ ڈیوائس کلین روم کلاس 1-100 میں استعمال کی جاتی ہے؛ اس کا کوارٹز کیوب ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ یہ لیمینر فلو میں صاف رہے۔ ہم یقین کرتے ہیں کہ اس سے کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور یہ لیمپ 5,000 گھنٹوں سے زیادہ عرصے تک کام کر سکتا ہے، جبکہ اسکی کارکردگی میں 5% سے کم کمی آتی ہے – یعنی یہ 24/7 کام کر سکتا ہے۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟
لیتھوگرافی عمل میں، NIR لیمپ، پرانے ہیلوجن اور میڈیم-ویو ذرائع کی جگہ لے لیتا ہے۔ اس سے بیکنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور سافٹ بیک اور ہارڈ بیک دونوں عملوں میں سیٹپوائنٹ کی استحکام برقرار رہتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی درستگی بہتر ہو جاتی ہے، کیونکہ حرارت براہ راست فلم پر ہی پڑتی ہے، نہ کہ اس کے ارد گرد کے حصوں پر۔
بجلی کی کھپت کم ہو جاتی ہے، کیونکہ NIR لیمپ بہت مؤثر طریقے سے حرارت فراہم کرتا ہے۔ اس طرح لیمپوں کو بار بار تبدیل کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی، جس سے غیرمتوقع بندشیں کم ہو جاتی ہیں۔ یہ بین الاقوامی معیارات کے مطابق ہے؛ پورے سسٹم کو دوبارہ چیک کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
آپ کو کیا دھیان میں رکھنا ہے؟
ایمیٹر کے لئے مناسب ڈرائیورز اور بند لوپ کنٹرول ضروری ہے۔ کھلا لوپ استعمال کرنے سے نتائج خراب ہو جاتے ہیں – ایسا کرنے کی کوشش ہی نہ کریں۔ سپیکٹرم کی استحکام کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے، اور اسے ویفر کی سطح سے مخصوص فاصلے پر ہی رکھنا ضروری ہے۔
کوارٹز کیوب کو ESD-فری طریقے سے ہی ہینڈل کرنا چاہیے۔ جب اسے صحیح جگہ پر رکھا جاتا ہے، تو بیکنگ پروسیس میں استحکام برقرار رہتا ہے، فضول مال کم ہو جاتا ہے، اور مینٹیننس کے عمل بھی قابل پیشن گوئی ہو جاتے ہیں۔