چپس کی تیاری میں کاربن کو کم کرنے کے لئے آئی آر حرارت کا استعمال
سیمی کنڈکٹرز کی تیاری میں درست کنٹرول بہت اہم ہے۔ یہاں حرارت کی مقدار کو بالکل درست رکھنا ضروری ہے، لیکن گرد یا کسی دوسرے غیرمطلوب ذرے کی وجہ سے ویفر خراب نہیں ہونا چاہیے۔
طویل عرصے سے، کنورشن اوونز کا استعمال کیا جاتا رہا۔ لیکن درحقیقت، پورے کمرے کو گرم کرکے صرف ایک چھوٹے سے سلیکون ٹکڑے کو گرم کرنا بہت زیادہ توانائی کا ضیاع ہے۔ یہ تو ایسے ہی ہے جیسے پورے گھر کو گرم کرکے صرف پیزا کے ایک ٹکڑے کو گرم کیا جائے۔
اسی لئے ہم نے آئی آر حرارتی لیمپوں کا استعمال شروع کیا۔ اس طریقے میں ہوا کو گرم کرنے کی بجائے، حرارت کو براہ راست ویفر پر ڈالا جاتا ہے۔ یہ طریقہ زیادہ بہتر، تیز، اور صاف کمرے میں کاربن کی مقدار کو کنٹرول میں رکھنے میں مددگار ثابت ہوتا ہے۔
یہ طریقہ کیوں کام کرتا ہے؟
آئی آر سسٹمز الیکٹرومیگنیٹک تابکاری کا استعمال کرتے ہیں۔ سادہ الفاظ میں، ہم درمیانی واسطوں کو استعمال نہیں کرتے۔ ہمیں حرارت کو منتقل کرنے کے لئے ہوا کی ضرورت نہیں ہے، اس لئے ویفر فوراً ہی گرم ہو جاتے ہیں۔ اس کے علاوہ، اس طریقے میں زمین پر جگہ کی بھی کم ضرورت ہوتی ہے۔
جب ہم حرارت کو صرف ہدف پر ہی مرکوز کرتے ہیں، تو بہت زیادہ توانائی بچ جاتی ہے۔ یہی وہ بات ہے جس سے ماحولیاتی فوائد حاصل ہوتے ہیں۔
صاف کمرے کی خصوصیات
صاف کمرے میں “گیسوں کا اخراج” ایک بڑی مشکل ہے۔ اگر آپ کے آلات سے ذرات خارج ہوتے ہیں، تو یہ بہت مشکل ہو جاتا ہے۔ اسے روکنے کے لئے ہم اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ ذرات کو ویفر سے دور رکھتے ہیں، حتیٰ کہ اعلیٰ ویکیوم ماحول میں بھی۔
ہم عموماً شارٹ-ویو آؤٹ پٹ کا استعمال کرتے ہیں۔ یہ سلیکون اور فوٹوریزسٹس کو گرم کرنے میں بہتر ہے۔
لیکن آپ حرارت کی مقدار کو زیادہ نہیں کر سکتے۔ اگر آپ بہت زیادہ حرارت دیں، تو ویفر خراب ہو سکتا ہے۔ ہم PID کنٹرولرز کا استعمال کرتے ہیں تاکہ حرارت کی مقدار کو کنٹرول میں رکھا جا سکے۔
مشکلات
آئی آر حرارتی لیمپس بہت گرم ہو جاتے ہیں۔ اگر آپ کولنگ سسٹم کو درست طریقے سے استعمال نہ کریں، تو یہ مشکلات پیدا ہو جاتی ہیں۔ اچھی وینٹیلیشن بہت ضروری ہے، کیونکہ یہی وہ طریقہ ہے جس سے سسٹم خراب نہیں ہوتا۔