سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں حرارت کو مناسب جگہ پر رکھنا ضروری ہے۔
ہائی-پاور IR لیمپس بہت زیادہ حرارت پیدا کرتے ہیں۔ سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں اس توانائی کا واحد مقصد، ویفر پر حرارت پہنچانا ہے۔
اگر اس حرارت پر قابو نہ رکھا گیا، تو یہ حرارت مشین کی دیواروں میں منتقل ہو جاتی ہے۔ جلد ہی مشین کا اندرونی حصہ بہت گرم ہو جاتا ہے، جس سے نازک الیکٹرانک آلات خراب ہو جاتے ہیں، اور یوں حفاظتی مسائل پیدا ہو جاتے ہیں۔
حرارت کو مطلوبہ جگہ پر لانے کا طریقہ
مسئلہ یہ ہے کہ عام IR لیمپس توانائی کو ہر سمت میں پھیلا دیتے ہیں – یعنی 360 ڈگری میں۔ اسے روکنے کے لئے ہم کوارٹز شیلڈز استعمال کرتے ہیں۔
انہیں “تھرمل بیریئرز” کہا جاتا ہے؛ یہ حرارت کو مشین کے اندرونی حصوں میں جانے سے روکتے ہیں، اور اسے دوبارہ ہدف کی جانب بھیجتے ہیں۔ یہی وہ واحد طریقہ ہے جس سے ویفر کو درکار درجہ حرارت تک پہنچایا جا سکتا ہے، بغیر پوری مشین کو بھٹی میں تبدیل کیے۔
کیوں کوارٹز ہی استعمال کیا جاتا ہے؟
ہم کوارٹز کا استعمال اس لئے کرتے ہیں کیونکہ یہ دباؤ کے باوجود بھی ٹوٹتا نہیں۔ اگر عام شیشہ استعمال کیا جائے، تو لیمپ کی زیادہ توانائی کی وجہ سے یہ فوراً ٹوٹ جاتا ہے۔ کوارٹز ایسے حالات کو برداشت کر سکتا ہے۔
کوارٹز، مختصر ترچھی لہروں والی IR شعاعوں کو آسانی سے گزرنے دیتا ہے، لیکن حرارت کے منتقل ہونے کو روکتا ہے۔
لیکن ایک مشکل یہ ہے کہ ان شیلڈز کو ہمیشہ صاف رکھنا ضروری ہے۔ اگر کوارٹز پر تھوڑی سی گرد یا کوئی دوسرا مادہ لگ جائے، تو یہ جل جاتا ہے۔ اس سے “گرم نقاط” پیدا ہو جاتے ہیں، جس کی وجہ سے ویفر یکساں طور پر گرم نہیں ہوتا۔ بدترین صورت میں، شیلڈ کام کرنا بند کر دیتا ہے۔
توازن قائم کرنا
بے شک، کوئی چیز بھی مفت نہیں ہے۔ شیلڈ لگانے سے لیمپ کی کارکردگی میں تھوڑی کمی آ جاتی ہے۔ اس کمی کی تلافی کے لئے، لیمپ کی طاقت کو بڑھانا یا لیمپ کو قریب رکھنا پڑتا ہے۔ لیکن اگر لیمپ کی طاقت زیادہ رکھی جائے، تو کولنگ سسٹم کو زیادہ کام کرنا پڑتا ہے۔
یہ توازن قائم کرنا بہت مشکل کام ہے۔