Trên một dây chuyền 300mm, sự trôi nhiệt độ nung 0,5°C sẽ làm hỏng kiểm soát CD và gia tăng tỷ lệ phế phẩm. Trong một phòng sạch Class 1–100, chỉ một hạt từ bộ gia nhiệt cũng đủ để làm hỏng một die. Chúng tôi đã chế tạo bộ gia nhiệt hồng ngoại cho phòng sạch nhằm loại bỏ cả hai chế độ thất bại.
Những gì quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng các bộ phát hồng ngoại sóng ngắn để truyền năng lượng nhanh và trực tiếp, đồng thời giữ độ đồng nhất ở mức wafer là ±0,1°C trong khu vực nung. Quá trình tăng nhiệt và giữ nhiệt có thể lặp lại từ lần chạy này sang lần chạy khác, vì vậy các hồ sơ nung mềm và nung cứng của bạn luôn được giữ nguyên. Thân bộ gia nhiệt thân thiện với phòng sạch—bề mặt nhẵn, vật liệu thoát khí thấp—và nó không phát ra hạt bụi trong khi hoạt động. Hệ thống điều khiển đủ chặt để duy trì ngân sách nhiệt trong các nút tiên tiến, nơi mà khoảng cách rất hẹp.
Tại sao nó phù hợp với dây chuyền
Trong các dây chuyền lithography, bạn cần nhiệt độ đến nhanh, giữ ổn định và không để lại gì phía sau. Bộ gia nhiệt hồng ngoại của chúng tôi nhanh chóng đạt điểm cài đặt, rút ngắn thời gian chu kỳ mà không từ bỏ kiểm soát hồ sơ. Nó hoạt động 7×24 mà không có thời gian chết không lường trước, và tuổi thọ của bộ phát hỗ trợ các chiến dịch dài mà không cần thay thế thường xuyên, vì vậy dây chuyền của bạn giữ trạng thái và bảo trì trở nên dễ dự đoán. Lợi ích là kích thước chiều dài quan trọng ổn định, giảm phế phẩm và năng suất đồng nhất.
Những gì bạn cần lên kế hoạch
Bộ gia nhiệt giao diện với các thiết lập dây chuyền tiêu chuẩn, nhưng hồ sơ nhiệt nhạy cảm với hình dạng buồng và dòng khí. Việc đưa vào sử dụng có nghĩa là lập bản đồ khu vực nóng và điều chỉnh bố trí bộ phát cho buồng nung cụ thể. Hãy dành một khoảng thời gian ngắn để tích hợp, và xác minh số lượng hạt tại nhiệt độ hoạt động trước khi bạn phát hành quy trình.