Đừng lãng phí năng lượng của bạn nữa: Tại sao các bộ phản xạ được phủ vàng lại quan trọng đến vậy?
Nếu bạn sử dụng đèn hồng ngoại trong quy trình xử lý wafer mà không dùng bộ phản xạ chất lượng cao, thì bạn đang lãng phí một nửa công suất của đèn. Đó là một vấn đề đơn giản: đèn tỏa năng lượng ra hai chiều. Nếu không có cách nào để đẩy ngược lại nguồn nhiệt này về phía wafer, thì bạn chỉ đang làm cho không khí trong phòng làm việc bị nóng lên mà thôi.
Đây chính là lúc bộ phản xạ được phủ vàng phát huy tác dụng.
Tại sao lại chọn vàng? (Và tại sao không dùng nhôm được đánh bóng thôi?)
Nhôm được đánh bóng cũng không tệ lắm. Nó vẫn có thể hoàn thành công việc của mình. Nhưng khi sử dụng ánh sáng hồng ngoại tần số cao, nhôm sẽ kém hiệu quả hơn. Vàng thì khác – nó có khả năng phản xạ ánh sáng hồng ngoại một cách hiệu quả hơn nhiều.
Chúng tôi không sử dụng toàn bộ vật liệu bằng vàng – điều đó thật vô lý. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng khung nhôm được gia công tỉ mỉ, sau đó phủ lớp vàng lên trên. Bạn vẫn có được độ nhẹ của nhôm, nhưng lại có được hiệu suất cao của vàng. Kết quả là bộ phản xạ không hấp thụ nhiệt, mà chỉ đẩy nhiệt trở lại nơi cần thiết.
Đưa nhiệt đến đúng vị trí cần thiết
Không chỉ là vấn đề về chất liệu, mà còn liên quan đến hình dạng của bộ phản xạ. Bằng cách điều chỉnh độ cong của bộ phản xạ – ví dụ như hình parabol hoặc elip – chúng ta có thể tập trung ánh sáng hồng ngoại vào một điểm cụ thể trên wafer. Đó chính là bí quyết để đạt được nhiệt độ mong muốn mà không cần tăng công suất đèn lên.
Nhưng cần lưu ý: đừng tập trung ánh sáng quá mức. Nếu bạn làm vậy, bạn sẽ tạo ra những điểm nóng trên wafer. Nếu bộ điều khiển PID không thể xử lý được lượng nhiệt dư thừa này, thì wafer của bạn có thể bị hư hỏng. Đó là một vấn đề cần cân nhắc kỹ lưỡng.
Ứng dụng thực tế và “quy tắc vàng” trong việc vệ sinh
Các bộ phản xạ này được thiết kế để thay thế các bộ phản xạ thông thường. Chúng được gia công với độ chính xác cao, để chúng có thể giữ vị trí ổn định trong quá trình máy hoạt động ở tốc độ cao.
Tuy nhiên, có một điểm cần lưu ý: vàng khá nhạy cảm với bụi bẩn. Nếu dầu hoặc hơi hóa chất bám trên bề mặt vàng, khả năng phản xạ ánh sáng của nó sẽ giảm, và bạn lại tiếp tục lãng phí năng lượng. Và xin đừng sử dụng miếng lau cứng để làm sạch chúng – điều đó sẽ làm mất lớp phủ vàng. Hãy sử dụng miếng lau mềm, chứa chất tẩy rửa nhẹ. Hãy cẩn thận, nếu không bạn sẽ phải mua bộ phản xạ mới sớm hơn dự kiến.