Trong quy trình sản xuất, giá trị nhiệt độ cần duy trì cho mỗi lô sản phẩm đã được xác định rõ ràng. Nếu công suất của bóng đèn thay đổi hoặc nhiệt...

Trên tầng lithography, một quy trình soft bake lệch vài độ cũng có thể làm các kích thước quan trọng trên wafer bị sai lệch. Bộ gia nhiệt không chỉ...