Kỹ Thuật in Offset on Custom Warm IR Heater Builds

Đèn lò in ấn bán dẫn

Fri, 26 Jun 2026 01:53:49 +0800

Trong một nhà máy sản xuất với công suất 7x24 giờ, việc sấy khô lớp phim quang học không chỉ là một bước thủ tục thông thường. Đó chính là yếu tố quyết định liệu mẫu sản phẩm có hoạt động tốt hay không, hay nói cách khác, liệu wafer đó có thể được sử dụng được hay không.

Nếu ánh sáng từ bóng đèn trong lò sấy bị lệch, thì độ đồng đều của quá trình sấy sẽ bị ảnh hưởng. Việc kiểm soát các kích thước quan trọng của wafer cũng sẽ bị ảnh hưởng theo. Bạn không thể chỉ dựa vào các điều chỉnh thủ công để đạt được hiệu suất tốt. Bạn cần một nguồn nhiệt ổn định, không thay đổi.

Phụ kiện bóng đèn dùng trong quy trình in ấn của ASML

Sat, 20 Jun 2026 02:33:51 +0800

Trong quy trình sản xuất, giá trị nhiệt độ cần duy trì cho mỗi lô sản phẩm đã được xác định rõ ràng. Nếu công suất của bóng đèn thay đổi hoặc nhiệt độ trong quá trình xử lý không ổn định, việc kiểm soát các kích thước quan trọng của sản phẩm sẽ bị ảnh hưởng – và dây chuyền sản xuất sẽ phải dừng lại. Các linh kiện thay thế dành cho bóng đèn trong công nghệ lithography của ASML được thiết kế để giữ ổn định nhiệt độ trong suốt quá trình xử lý, nhờ đó các thông số liên quan đến lớp phim quang học vẫn được duy trì ổn định từ lô sản phẩm này sang lô sản phẩm khác.