用于光刻机的石英玻璃防护罩

在半导体制造过程中，如何将热量控制在适当范围内至关重要。高功率的红外灯会释放出大量的热量。在半导体工厂中，这些热量只能用于加热晶圆，除此之外别无他用。 如果不能有效控制这些热量，它们就会扩散到机器的各个部位。很快，机器的内部结构就会变得极其烫手，而那些敏感的电子元件也会被烧毁。这样一来，就出现了严...