في ورشة الإنتاج، كما تعلمون، فإن أي اختلاف في درجة الحرارة بمقدار 0.2 درجة مئوية قد يؤثر على الأبعاد الحرجة للرقاقات، مما يؤدي إلى انخفاض جودة الإنتاج. وهنا تكون أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء في الغرفة المفرغة ضرورية للغاية، خاصة في الظروف التي يكون فيها التوصيل والتبريد محدودين، أي داخل الغرفة تحت ضغط منخفض، أثناء عمليات التسخين المختلفة.
ما الذي يهم حقًا؟ نقوم بتصنيع هذه الأجهزة باستخدام مصادر إشعاع تحت الحمراء ذات الموجات القصيرة، مدمجة في غلاف من الكوارتز، مما يضمن استجابة سريعة وثبات في الإخراج. يمكن الحصول على توزيع حراري موحد على مستوى الرقاقة بدقة تصل إلى ±0.1 درجة مئوية. كما أن تكرار درجة الحرارة من دورة إلى أخرى يكون ≤±0.5 درجة مئوية، مما يحافظ على الأبعاد الحرجة للرقاقات ويمنع حدوث أي توتر في الطبقات الموجودة على سطح الرقاقة. يتميز هذا التصميم بعدم إنتاج أي جسيمات، مما يجعله مناسبًا للاستخدام في الغرف نظيفة من الفئة 1 إلى 100. يتم التحكم في درجة الحرارة بشكل دقيق، باستخدام أجهزة استشعار مُعدلة لتتناسب مع استجابة مصدر الإشعاع، وليس بناءً على درجة حرارة جدران الغرفة.
لماذا يعمل هذا النظام بشكل فعال؟ في عمليات الطباعة، نحتاج إلى عمليات تسخين متكررة لتحديد خصائص الرقاقات، بينما في عمليات التغليف، نحتاج إلى مستويات حرارية مستقرة لضمان جودة الرقاقات. أجهزة التسخين بالأشعة تحت الحمراء في الغرفة المفرغة تعمل على مدار 24 ساعة دون أي توقف غير مخطط له، كما أن استهلاك الطاقة منخفض، مما يعني عددًا أقل من الرقاقات التي تحتاج إلى إعادة معالجة، بالإضافة إلى إمكانية التخطيط لأوقات الصيانة بشكل أفضل.
بعض الملاحظات العملية: تحتاج هذه الأجهزة إلى توجيه دقيق داخل الغرفة، بالإضافة إلى إمدادات طاقة نظيفة لضمان استقرار الإشعاع. يمكن دمجها مع أنظمة الفراغ القياسية، لكن يجب أخذ الكتلة الحرارية والعوامل الأخرى في الاعتبار، وإلا فقد يحدث تسخين زائد في الأجزاء المجاورة. يُنصح بإجراء اختبارات قصيرة لتحديد خصائص الإشعاع وضبط إعدادات الجهاز بناءً على تصميم الغرفة.