In den Lithografieanlagen werden die Parameter des Fotolacks durch das Weichbrennen und Hartbrennen festgelegt. Eine Schwankung von 2°C kann dazu führen, dass der Wert von Ttop um 20 nm changeiert – diese Schwankungen zeigen sich wiederum als Variationen in der Breite der Linien auf den Wafern. Es ist daher notwendig, eine Temperaturkontrolle zu haben, bei der die Werte gemessen, wiederholt und überwacht werden können.
Was wirklich wichtig ist
Wir haben den präzisen Infrarotsensor um einen stabilen NIR-Emitter sowie einen kalibrierten Detektor herum konstruiert. Dadurch bleibt die thermische Homogenität auf der Waferoberfläche bei ±0,1°C während des Brennvorgangs erhalten. Der Sensorkopf passt durch enge Öffnungen im Ofen, und die Optik ist vor Ausgasungen geschützt – dadurch bleiben die Messwerte in Reinräumen der Klasse 1–100 konstant. Die Vermeidung von Partikeln entsteht nicht zufällig, sondern durch das Vermeiden von drehenden Teilen sowie durch eine feste Ausrichtung der Sensoren. Die Wiederholgenauigkeit der Messwerte liegt stets bei 0,1%, sodass langandauernde Prozesse ohne Neukalibrierung ablaufen können.
Warum dieser Sensor in den Brennöfen nützlich ist
Beim Brennen des Fotolacks sind strenge Temperaturvorgaben erforderlich. Dieser Sensor sorgt dafür, dass die Temperatur auf der gesamten Waferoberfläche konstant bleibt. Dadurch wird die Kontrolle der kritischen Abmessungen verbessert, und es müssen weniger Wafer zurückgegeben werden. Zudem wird die Prozessflexibilität erhöht, ohne dass die Durchsatzrate beeinträchtigt wird. Da Abweichungen sofort erkannt werden, sinkt auch die Menge an Ausschussware. Die Stabilität der Anlage verbessert sich ebenfalls – es gibt weniger Fehlalarme und unplanmäßige Eingriffe. Das Ergebnis ist eine höhere Produktionsrate sowie planbare Zykluszeiten.
Was man beachten muss
Bei der Installation muss die Öffnung des Ofens genau angepasst werden, außerdem muss die Emissivität des Fotolacks korrekt eingestellt werden. Andernfalls sind die Messwerte falsch. Wir liefern ein Kalibrierungsset für gängige Fotolacke – doch neue Fotolacke benötigen möglicherweise eine einmalige Kalibrierung. Planen Sie eine kurze Pause ein, um den Sensor mit dem Ofencontroller zu verbinden und den Lichtstrahl auszurichten. Sobald alles eingestellt ist, funktioniert das System mit minimalem Wartungsaufwand.