Eine intelligente Methode zur Trocknung von MEMS-Wafern – ohne Energieverschwendung Seien wir ehrlich: Die traditionelle Trocknung von MEMS-Wafern...

Hören Sie auf, die Wände der Maschine zu erhitzen – heizen Sie stattdessen die Wafer selbst. Die meisten herkömmlichen Heizelemente strahlen Energie...

Wie man Hydrogensensoren mit Infrarotstrahlung richtig trocknet Beim Herstellen von Hydrogensensoren wird es schwierig, wenn es um die Erhitzung...

Hören Sie auf, Ihre Geräte in „Öfen“ zu verwandeln! Haben Sie schon einmal die Oberfläche eines Halbleitergeräts berührt und dabei erschrocken...

In den Lithografieanlagen werden die Parameter des Fotolacks durch das Weichbrennen und Hartbrennen festgelegt. Eine Schwankung von 2°C kann dazu...