در فرآیند لیتوگرافی، مراحل پخت نرم و سخت، جایی هستند که پروفایل رزیست فوتوگرافیک تعیین میشود. تغییر ۲ درجه سانتیگراد در دما، میتواند باعث تغییر ۲۰ نانومتری در دمای سطح ویفر شود؛ این تغییرات منجر به تفاوتهایی در عرض خطوط روی ویفر میشود. بنابراین، نیاز به کنترل دقیق دما وجود دارد تا بتوان آن را اندازهگیری، تکرار و ردیابی کرد.
چه چیزی اهمیت دارد؟
ما سنسور IR دقیقی را بر اساس یک ساطعکننده نور در طول موج NIR پایدار و یک آشکارساز تنظیمشده ساختیم؛ بنابراین یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حین فرآیند پخت، در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. سر سنسور میتواند از میان دریچههای باریک فر عبور کند؛ همچنین، سیستم نوری آن در برابر خارج شدن گازها محافظت شده است؛ این امر باعث میشود که اندازهگیریها در اتاقهای تمیز کلاس ۱ تا ۱۰۰ یکنواخت باقی بماند. عدم تولید هیچ ذرهای نیز یک ویژگی مهم این سنسور است؛ این امر از طریق حذف قطعات چرخنده و حفظ مسیر ثابت نوری محقق میشود. تکرارپذیری خروجی سنسور نیز در محدوده ۰.۱٪ باقی میماند؛ بنابراین میتوان از این سنسور برای فرآیندهای طولانیمدت استفاده کرد، بدون نیاز به تنظیم مجدد.
چرا این سنسور در فرهای پخت مفید است؟
در فرآیند پخت رزیست فوتوگرافیک، کنترل دقیق دما بسیار مهم است. این سنسور، مقدار دمای مورد نظر را در سراسر ویفر حفظ میکند؛ بنابراین کنترل ابعاد حیاتی ویفر بهتر میشود و تعداد کارهای تکراری کاهش مییابد. همچنین، میتوان محدوده فرآیند را گسترش داد، بدون اینکه باعث کاهش سرعت فرآیند شود؛ همچنین، تعداد محصولات باکیفیت کاهش مییابد، زیرا تغییرات دما به سرعت تشخیص داده میشوند. پایداری تجهیزات نیز بهبود مییابد؛ یعنی تعداد هشدارهای نادرست و مداخلات غیرمنتظره کاهش مییابد. نتیجه این امر، بازدهی بالاتر و زمان کمتر برای انجام فرآیند است.
چه چیزهایی برای کار صحیح سنسور لازم است؟
نصب سنسور، به معنای تنظیم درست اندازه دریچه فر و مقدار انتشار نور توسط رزیست فوتوگرافیک است؛ اگر این کار به درستی انجام نشود، اندازهگیریها نادرست خواهند بود. ما یک مجموعه تنظیماتی را همراه با سنسور ارسال میکنیم؛ اما سنسورهای جدید ممکن است نیاز به تنظیمات اولیه داشته باشند. برای این منظور، کافی است مدت کوتاهی فر را متوقف کنید تا سنسور به کنترلر فر متصل شود و مسیر نوری آن تنظیم شود. پس از تنظیم، سیستم بدون نیاز به نگهداری مداوم، به کار خود ادامه میدهد.