در خط تولید، بودجه حرارتی مربوط به هر دسته از قطعات، از پیش تعیین شده است. اگر توان لامپ تغییر کند یا دمای فر پخت نامنظم شود، کنترل ابعاد حیاتی قطعات...

در طبقه لیتوگرافی، حتی یک پخت نرم با چند درجه اختلاف می‌تواند باعث تغییر ابعاد بحرانی در سراسر ویفر شود. هیتر تنها گرما اضافه نمی‌کند، بلکه بودجه...