अपने उपकरणों की दीवारों को गर्म न करें… बल्कि वेफरों को ही गर्म करें।
अधिकांश सामान्य हीटिंग उपकरण, ऊर्जा को हर दिशा में ही भेजते हैं। वेफर उत्पादन हेतु इससे बहुत समस्याएँ होती हैं।
विचार कीजिए… उस ऊर्जा में से ज्यादातर ऊर्जा तो वेफर तक ही नहीं पहुँचती; वह तो उपकरण की आंतरिक दीवारों में ही चली जाती है। इससे उपकरण की दीवारें बहुत गर्म हो जाती हैं… जो कि ऊर्जा का बर्बादी है। इसके अलावा, यह तो सुरक्षा के लिहाज से भी खतरनाक है… कोई भी ऐसी स्थिति में नहीं रहना चाहेगा।
ऊर्जा को नियंत्रित करने का तरीका
हम इस समस्या को दिशात्मक इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करके ही हल करते हैं। हम साधारण क्वार्ट्ज ट्यूबों के बजाय, परावर्तकों एवं विशेष कोटिंगों का उपयोग करके ऊर्जा को ठीक उसी जगह भेजते हैं, जहाँ उसकी आवश्यकता है।
ऐसा करने से ऊर्जा सीधे वेफर की सतह पर ही पहुँचती है… और उपकरण की आंतरिक दीवारों में नहीं।
यदि आपको लगे कि आपके उपकरण की दीवारें बहुत गर्म हो रही हैं, तो संभवतः आपके लैंपों से ऊर्जा ठीक से नहीं निकल रही है… यह ऊर्जा बर्बाद हो रही है।
कठिनाइयाँ
यह कोई ऐसी स्थिति नहीं है, जिसमें आप बस “सेट करके भूल जा सकें”… दिशात्मक हीटिंग में बहुत सावधानी आवश्यक है।
यदि लैंप की स्थिति में कुछ मिलीमीटर का भी बदलाव हो जाए, तो वेफर पर ठंडे बिंदु बन जाते हैं… यह बहुत ही संवेदनशील प्रक्रिया है।
इसके अलावा, आपको परावर्तकों पर भी नज़र रखनी होगी… समय के साथ वे ऑक्सीकृत हो जाते हैं, या गंदे हो जाते हैं… ऐसी स्थिति में ऊर्जा फिर से फैलने लगती है… और दीवारों का तापमान फिर से बढ़ने लगता है।
इसे अधिक सुरक्षित एवं आसान बनाना
इन सिस्टमों का सबसे अच्छा हिस्सा यह है कि इनके कारण कूलिंग फैनों पर लगने वाला बोझ कम हो जाता है… क्योंकि अब बहुत अधिक ऊर्जा उपकरण के अंदर नहीं जा रही है… इससे हवा भी ठंडी ही रहती है।
मैं हमेशा ऐसे लैंपों के साथ उच्च-सटीकता वाले सेंसरों का उपयोग करने की सलाह देता हूँ… ताकि वेफर की सतह पर ही ऊर्जा का नियंत्रण हो सके… न कि केवल उसके आसपास की हवा पर।
इससे उपकरण के अंदरूनी हिस्से ठंडे ही रहते हैं… एवं आपको प्रक्रिया हेतु आवश्यक तापमान भी मिल जाता है… बहुत ही सरल।