クリーンルーム内での赤外線硬化処理の正しい進め方
半導体製造のクリーンルームで作業を行う人なら、どうすればよいかわかっているはずです。部品を乾燥させたり硬化させたりする必要がありますが、巨大なヒートガンを持ち込んだり、化学溶剤をあちこちに撒き散らしたりするわけにはいきません。そこで役立つのが赤外線ランプです。
強制送風によって部屋全体を温めるのではなく、このランプは必要な場所だけにエネルギーを照射します。これにより、よりクリーンな環境で作業が可能になります。特に、無鉛で環境に優しい基準はもはや「望ましいもの」ではなく、必須の要件となっています。
なぜ対流式オーブンより優れているのか
通常のオーブンの仕組みを考えてみてください。部品が実際に熱くなる前に、周囲の空気全体を温めなければなりません。これは時間がかかります。
一方、赤外線ランプは異なります。短波または中波の放射体を使用して、コーティングや接着剤の分子を振動させます。直接加熱されるため、迅速です。また、熱が停滞した空気層を通過する必要がないため、硬化処理の時間が短縮されます。さらに、VOCや鉛を含む触媒も不要になります。とても効率的です。
効率と熱量のトレードオフ
半導体製造に適した温度を得るためには、高ワット数の石英管が必要です。メリットは、反応が非常に迅速だという点です。スイッチを押すだけで、数秒以内に最大出力になります。
しかし、問題点もあります。そんなに多くのエネルギーを使うと、局部的に高温になります。もし十分な放熱装置や換気システムがなければ、状況が悪化する可能性があります。取り付けブラケットが変形したり、さらに悪いことに、基板から発生するガスがクリーンルームの煙探知機を作動させてしまう可能性もあります。熱を適切に管理しなければ、逆に熱が問題を引き起こしてしまいます。
シンプルでクリーンに
これらのランプは、「そのまま交換できる」ように設計されています。標準的なコネクタを使用しているため、管が壊れても簡単に交換できます。わざわざ午後の時間をかけて配線を再配置する必要はありません。
そして最も良い点は、ファンや送風機がないことです。空気の流れがないため、ウェハーの周りにほこりが舞うこともありません。完全に密閉された熱エネルギーの循環システムです。空気の流れがないため、粒子も発生しません。静かで安定しており、とても使いやすいです。