もう、グローブボックスをオーブンのように使うのはやめましょう。
半導体製造においてグローブボックスを使用したことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。プロセスを行うためには内部を高温にする必要がありますが、従来のヒーターでは空気全体が加熱されてしまいます。その結果、内壁が非常に高温になってしまいます。これは、中に手を入れる人にとっては悪夢のような状態であり、センサーを破壊してしまう可能性もあります。
私たちは、より良い方法を見つけました。それが「指向性赤外線ヒーター」です。
この方法では、空気を加熱するのではなく、赤外線ランプからエネルギーが直線的に放出されます。エネルギーは直接部品に届きます。空気やキャビネットの壁はほとんど影響を受けません。つまり、必要な場所だけを高温にし、他の部分は冷たいままに保つのです。もう、設備の側面に触れただけで火傷する心配もありません。
適切な波長を選ぶのには時間がかかりますが、一般的には短波長の赤外線が使われます。そうすることで、エネルギーがステンレス鋼の壁に反射するのを防ぎ、対象物に直接当たるようになります。これにより、「熱い壁」という問題が発生しなくなります。
しかし、これがすべての状況に最適な解決策というわけではありません。
熱が集中するため、急激な温度勾配が生じます。部品の形状が変則的な場合、低温域ができてしまいます。また、このランプを適当な場所に設置するわけにはいきません。正確な位置に設置する必要があります。
さらに、電力面にも注意が必要です。高出力の赤外線ランプは多くの電流を消費します。もし配線やコントローラーが十分でないと、リレーが壊れてしまう可能性があります。
それでも、設定を正しく調整すれば、大変便利です。加熱速度が上がり、プロセスが安定し、キャビネットも触っても冷たいままです。これにより、作業環境がより安全になります。