なぜ、私たちはIRランプに金をコーティングするのか？
半導体製造工場では、適切な加熱や硬化温度を維持することが何よりも重要です。しかし正直に言うと、物を加熱するという行為自体が、大量のエネルギーを無駄にすることになります。そこで、金でコーティングされた短波赤外線ランプが役立つのです。
金がどのように機能するのか
通常の石英ランプを考えてみてください。それはあらゆる方向に熱を放出します。その中には、ウェハーには全く役立たない機械のケース側への熱も含まれます。これは明らかに無駄です。
そこで、私たちはランプの背面に薄い金の層をコーティングします。これにより、ランプの背面が鏡のように機能し、赤外線エネルギーが前方に向かって反射されます。結果として、必要な場所にだけ強力な熱が届きます。エネルギーが集中するため、消費電力を抑えつつも目標温度を達成できるのです。これはとても合理的な方法です。
カーボンフットプリントの削減
多くの「グリーンファクトリー」の目標は面倒に思えますが、これは双方にとってメリットのある方法です。
このランプは急速に加熱され、動作中の消費電力も少ないです。部屋に熱が漏れ出さないため、クリーンルームを冷却するためにHVACシステムが過剰に働く必要もありません。無駄な熱が少なくなるため、1サイクルあたりの電力消費量も減ります。それだけです。
注意点（必ず存在するもの）
ただし、これは魔法の杖ではありません。集中した熱は非常に強力なので、注意が必要です。ウェハー同士の間隔が少しでもずれると、ホットスポットが発生する危険があります。PIDコントローラーやセンサーを適切に調整しておく必要があります。また、金の表面に指紋や汚れが付くと、反射率が低下し、効率も悪くなり、再びエネルギーを無駄にすることになります。ランプを丁寧に扱えば、しっかりと機能してくれます。