7x24時間稼働するファブでは、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。これは、正常に機能するパターンと廃棄されるウェハとを分ける重要なポイントです。
オーブン内のランプの位置がずれると、均一な加熱が得られず、重要な寸法制御も失われます。手動で調整しても、歩留まりを改善することはできません。だからこそ、一定の位置に固定された熱源が必要なのです。
内部で何が重要か
私たちは、石英製のケース内に短波長の赤外線ハロゲン要素を使用したリソグラフィ用ランプを開発しました。これにより、迅速な応答性と安定したスペクトル出力が実現されます。その結果、焼成エリア全体でウェハの温度が±0.1℃以内に保たれ、フォトレジストの流動や溶剤の除去が毎回同じように行えます。
このランプヘッドは、クラス1～100のクリーンルーム環境に適しており、運転中に粒子を一切排出しません。また、計画外の停止時間もありません。寿命は5,000時間以上で、その間も出力の安定性は保たれます。
なぜこれがリソグラフィに適しているのか
焼成処理は、露光や現像の基礎となります。正しく行えば、再作業を減らし、熱管理を容易にし、寸法のばらつきを抑えることができます。同じランプをさまざまな工程で使用できるため、工程の切り替えが迅速に行え、認証プロセスも短縮されます。
また、ランプが迅速に加熱され、設定値を維持できるため、エネルギー消費も削減されます。ランプの交換頻度が少なくなるため、汚染のリスクも低くなり、装置の稼働時間も増えます。
信頼性を保つためのポイント
ランプは、オーブン内の光学系や反射板が清潔で正しく配置されている場合にのみ最良の性能を発揮します。たとえ光源自体が安定していても、これらが不適切だと均一性が損なわれます。したがって、設置時にはオーブンのインターフェースや電源との整合性を確認する必要があります。
また、SPCの基準に合ったサイト内校正プログラムを組み合わせて使用し、故障時ではなく定期的にランプを交換することで、工程の再現性を維持できます。