RTP 시스템용 램프의 최저 가격
반도체 RTP 공정에서의 비용 문제 해결하기
간단히 말해, 현장에서는 단지 가격만을 고려하는 것이 아닙니다. 중요한 것은 작업을 제대로 수행하는 것입니다. 우리는 비싼 전용 RTP(급속 열처리) 램프를 대신하여 저렴하고 국내에서 생산된 적외선 가열 장치를 사용하려고...
RTP 히터 램프 교체 방법
Role 공장 바닥에서 RTP 챔버 램프는 폭죽처럼 갑자기 고장 나지 않는다. 대신 포토레지스트 프로파일의 이동, 넓어진 임계 치수 분포, 그리고 갑자기 레시피를 벗어난 열 예산으로 나타난다. 온도 불확실성은 빠르게 누적되어 로트가 쌓일수록 심해진다. 램프 교체는 단...