Menjaga suhu wafer tetap stabil: Kebenaran tentang penggunaan pemanasan jenis IR pada kereta pengangkut wafer
Jika anda pernah bekerja di kilang semikonduktor, pasti anda tahu betapa sukarnya untuk mengangkut wafer. Memastikan suhu wafer tetap stabil semasa proses pengangkutan merupakan cabaran yang berterusan. Sebarang kesilapan boleh menyebabkan kerosakan pada wafer atau pencemaran, dan ini akan menurunkan kualiti produk yang dihasilkan.
Selama ini, kita menggunakan oven konvektif untuk memanaskan wafer. Namun, sejujurnya, kaedah ini tidak efisien dan membuang banyak tenaga. Jika kita benar-benar ingin mencapai kelestarian karbon, kita harus berhenti memanaskan udara dan sebaliknya memanaskan permukaan wafer itu sendiri. Inilah kelebihan penggunaan pemanasan jenis IR pada kereta pengangkut wafer.
Pemanasan yang tepat di tempat yang diperlukan
Kelebihan pemanasan jenis IR ialah ia memberikan haba secara langsung pada permukaan wafer. Energi tersebut tidak tersebar ke udara sekeliling, jadi sistem HVAC tidak perlu bekerja keras untuk menyejukkan bilik tersebut.
Selain itu, kaedah ini juga sangat cepat. Anda tidak perlu menunggu lama sehingga ruangan menjadi sejuk. Cukup hidupkan suisnya, dan ia sudah siap digunakan.
Aspek berkaitan bahan yang digunakan
Dalam bilik bersih, kita tidak boleh menggunakan bahan biasa. Kita menggunakan tiub kuarsa yang berkualiti tinggi. Bahan biasa mudah rosak atau melepaskan gas berbahaya. Dalam dunia semikonduktor, setiap zarah debu boleh merosakkan produk yang dihasilkan.
Kita juga melapisi mentol tersebut agar sinar inframerahnya tertumpu pada wafer sahaja, bukan pada rangka kereta pengangkut wafer.
Oleh kerana komponen-komponen ini boleh rosak, kita menggunakan sambungan standard. Apabila mentol rosak, teknisi hanya perlu menukar mentol tersebut. Tidak perlu mengubah susunan kabel atau memanggil pakar. Ia sangat praktikal.
Satu kelemahan
Masalahnya ialah kekuatan pemanasan yang tinggi ini memerlukan sistem penyejukan yang baik. Jika rangka kereta pengangkut wafer tidak dikinsulasikan dengan baik, haba tersebut akan meresap ke dalam rangka tersebut. Ini akan menyebabkan rangka kereta pengangkut wafer rosak, atau sistem amaran di bilik bersih akan berbunyi pada waktu malam. Anda perlu mencari keseimbangan antara kuasa yang diperlukan dan kemampuan kereta pengangkut wafer untuk menahannya tanpa rosak.