Op de lithografieafdeling worden de parameters van de fotorezist vastgesteld tijdens de zogenaamde ‘soft bake’ en ‘hard bake’. Een verschil van 2°C kan leiden tot een verschil van 20 nm in de temperatuur op het oppervlak van de wafer. Dit verschil komt tot uiting in verschillen in de dikte van de randen van de wafer. Er is dus temperatuurcontrole nodig die nauwkeurig kan worden gemeten, herhaald en gevolgd.
Wat er echt toe doet We hebben de precisiesensor gebouwd rondom een stabiele NIR-emitter en een gekalibreerde detector. Hierdoor blijft de thermische uniformiteit op het niveau van de wafer op ±0,1°C tijdens het bakproces. De sensoren passen in de kleine openingen van de oven, en de optica is afgesloten tegen uitstoot van gasen. Hierdoor blijven de metingen consistent in zuiverruimtes van klasse 1-100. Het voorkomen van partikelformatie is geen slogan; dit wordt bereikt door het vermijden van draaiende onderdelen en het behouden van een vaste oriëntatie van de sensoren. De herhalbaarheid van de metingen blijft binnen 0,1%, zodat langdurige processen zonder herkalibratie kunnen worden uitgevoerd.
Waarom dit belangrijk is in de ovens Bij het bakken van fotorezist moet er nauwkeurig controle worden uitgeoefend op de temperatuur. Met deze sensor blijft de gewenste temperatuur constant, waardoor de controle over de afmetingen van de wafer verbetert en er minder herwerkingswerk nodig is. Hierdoor kan het procesprofiel worden verbreed zonder dat de productiecapaciteit wordt verminderd. Ook neemt het aantal defecte producten af, omdat afwijkingen direct worden gedetecteerd. De betrouwbaarheid van de apparatuur verbetert ook: er zijn minder foutalarmen en minder onverwachte storingen. Het resultaat is een hogere productiegraad en een planbaarere cyclusduur.
Wat er nodig is om het goed te doen Voor de installatie is het belangrijk om de opening van de oven goed af te stemmen en de emissiviteit van de fotorezist juist in te stellen. Anders zullen de metingen onecht zijn. We leveren een kalibratiekit die is afgestemd op veelgebruikte materialen. Echter, nieuwe combinaties van materialen kunnen eerst gevalideerd moeten worden. Plan een korte stilstand in de productie om de sensor aan te sluiten op de ovencontroller en de richting van het lichtpatroon te regelen. Eenmaal ingesteld, vereist het systeem minimale onderhoud.