Почему мы перешли на водонепроницаемые инфракрасные лампы для сушки полупроводников
На этапе промывки в производстве полупроводников у нас есть одна главная цель – как можно быстрее удалить влагу с поверхности кристалла, не оставив при этом ни капли грязи.
Долгое время все использовали обычные конвектионные печи с горячим воздухом. Но, честно говоря, нагрев больших объемов воздуха – это пустая трата ресурсов. Этот процесс медленный, аппараты громоздкие, к тому же это приводит к значительным потерям энергии. Поэтому мы перешли на водонепроницаемые инфракрасные лампы. Это гораздо более эффективный способ сушки.
Секрет заключается в плотности тепла
Мы используем лампы с высокой интенсивностью излучения, поскольку они не влияют на воздух вокруг. Они направляют энергию прямо на поверхность кристалла. В результате не нужно ждать, пока воздух нагреется. Эти кварцевые лампы достигают необходимой температуры за считанные секунды. Это очень быстро. И поскольку они нагреваются так быстро, не нужно держать аппарат в работе на полной мощности, пока он просто стоит без дела.
Проблема влажности
Среда для промывки по своей природе является влажной. Если использовать обычную инфракрасную лампу, она будет быстро выходить из строя или окисляться. Это не очень хорошо. Чтобы этого избежать, мы загерметизируем электроды и используем специальные кварцевые оболочки, чтобы предотвратить попадание влаги внутрь лампы. Это помогает избежать их повреждения при высокой влажности или при попадании капель воды на них.
Но есть одна сложность: нельзя просто обернуть лампу пластиком и все. Нужно сбалансировать герметичность с процессом отдачи тепла. Такой покрытий может немного изменить спектр света, поэтому мы тратим много времени на настройку длины волны. Мы хотим, чтобы энергия проникала сквозь водяной слой на поверхности кристалла, не повреждая сам кристалл.
Сделаем производство более экологичным
Замена конвекционных печей на инфракрасные лампы значительно улучшает условия в производственном помещении. Не нужно использовать большие вентиляторы и сложные системы вентиляции. Меньше оборудования означает меньшее потребление энергии. Все это делает производственное оборудование более эффективным.
Однако стоит помнить: если вы собираетесь заменить старый оборудование для сушки на инфракрасные лампы, не стоит просто подключить их и надеяться на лучшее. Эти лампы потребляют много энергии сразу после включения. Вам, вероятно, придется проверить провода и, возможно, улучшить защиту от перегрузок, чтобы избежать аварий каждый раз, когда начинается процесс нагрева.