Zaman kaybetmeyin: Yarı iletken işlemler için ozonsuz kızılötesi teknolojisi neden en iyi çözüm?
Bekleme süreleri konusunu ele alalım. Eğer zorlu hava konveksiyonu kullanıyorsanız, ne demek istediğimi tam olarak anlıyorsunuzdur. Aslında sadece havayı ısıtarak bu ısının yüzeye ulaşmasını sağlıyorsunuz. Bu oldukça yavaş bir süreçtir; havanın ısınması için dakikalarca beklemek zorundasınız, ardından da parçanın bu ısıyı emmesi için daha fazla zaman harcamanız gerekiyor. Bu durum, üretim sürecinizi ciddi şekilde yavaşlatır.
Biz ise farklı bir yöntem kullanıyoruz: Ozonsuz kızılötesi lambaları kullanıyoruz. Havanın ısınmasını beklemek yerine, ısıyı radyasyon yoluyla iletiyoruz. Bu çok daha etkili bir yöntemdir. Kızılötesi lambalar, hedefe doğrudan elektromanyetik dalgalar gönderir. Aracı yoktur; havanın ısınmasını beklemenize gerek yoktur. Üretim süreniz dakikalardan saniyelere düşer. Yoğun üretim yaptığınızda, bu tasarruf edilen saniyeler hızla toplanır. Daha büyük bir fabrika inşa etmeden daha fazla wafer üretebilirsiniz.
Ancak standart kızılötesi lambalarda bir sorun var: Çoğu kısa dalga boyundaki lamba UV ışığı yaydığı için, yarı iletken üretim ortamlarında ozon oluşur. Bu bir sorundur; çünkü ozon, organik katmanları aşındırabilir veya korunması gereken yüzeyleri okside edebilir.
Bunu önlemek için filtrelenmiş filamanlar ve özel kuvars kaplamalar kullanıyoruz. Bunlar, ozon oluşumunu tetikleyen UV dalga boylarını engeller. En iyi yanı ise, pahalı ve büyük boyutlardaki hava arıtma sistemleriyle uğraşmanıza gerek kalmamasıdır.
Şimdi, bazı dezavantajlardan bahsetmek istiyorum. Yüksek yoğunluklu kızılötesi ısıtma, çok fazla enerji tüketir. Eğer sürecinizdeki her milisaniyeyi kazanmak için yüksek güçlü lambalar kullanıyorsanız, elektrik tesisatınızın bu yükleri kaldırabileceğinden emin olmalısınız. Ayrıca, radyasyonun yönlü olduğunu unutmayın. Sıcak hava bir battaniye gibi parçanın etrafını sarar, ancak kızılötesi ışınlar daha çok bir el feneri gibidir. Lambalarınız doğru şekilde yerleştirilmezse soğuk noktalar oluşur. Her şeyin eşit şekilde ısındığından emin olmak için termal profili analiz etmeniz gerekecektir.
Çoğu fabrika zaten yavaş çalışan fırınları bırakıp ozonsuz kızılötesi sistemleri kullanıyor. Bu, ısıtma aşamasında yapılan basit bir değişikliktir ve tek bir amaca hizmet eder: İşlem adımları arasındaki boş zamanları ortadan kaldırır.