Aletinizin duvarlarını ısıtmayı bırakın ve yerine wafeleri ısıtmaya başlayın.
Çoğu standart ısıtıcı eleman, enerjiyi her yöne doğru yaymaktadır. Bir wafer işleme cihazında bu büyük bir sorundur. Düşünün: Bu ısının çoğu aslında wafere bile ulaşmaz; sadece cihazın iç duvarlarına zarar verir. Sonuç olarak “sıcak duvarlar” oluşur ve bu da enerjinin boşa harcanması anlamına gelir. Daha da kötüsü, bu durum güvenlik açısından da tehlikelidir. Kimse, operatörün makineye dokunmak zorunda kaldığı için yanmasını istemez.
Isıyı nasıl kontrol edebiliriz?
Bunu, yönlendirilebilir kızılötesi lambalar kullanarak çözüyoruz. Sadece bir kuvars tüpü kullanmak yerine, ısıyı tam olarak ihtiyaç duyulan yere yönlendirmek için yansıtıcılar ve özel kaplamalar kullanıyoruz. Böylece ısı sadece wafeerin yüzeyine temas eder ve orada kalır. Cihazın gövdesine sızmaz. Eğer aletinizin gövdesinin dokunulamayacak kadar sıcak olduğunu fark ederseniz, lambalarınız muhtemelen çok geniş bir alana ısı yayıyor demektir. Bu da ısının dışarı sızdığının açık bir işaretidir.
Zor kısım
Bu durum, “bir kez ayarlayıp unutma” durumu değildir. Yönlendirilebilir ısıtma oldukça hassastır. Eğer lambanız sadece birkaç milimetre hareket ederse, wafere soğuk noktalar oluşur. İşte bu kadar hassastır. Ayrıca, yansıtıcıları da sürekli kontrol etmeniz gerekiyor. Zamanla bunlar oksitlenir veya kirlenir. Bu durumda ısı tekrar yayılmaya başlar ve duvarların sıcaklığı yine artar.
Daha güvenli ve daha kolay hale getirme
Bu sistemlerin en iyi yanı, soğutma fanlarının üzerindeki yükün azalmasıdır. Çünkü büyük miktarda ısı iç kısmana aktarılmadığı için hava çok daha serin kalır. Her zaman bu lambaları, sadece çevresindeki havayı değil, wafeerin yüzeyini de izleyebilen yüksek hassasiyetli sensörlerle birlikte kullanmanızı öneririm. Böylece hem iç kısımlar serin kalır, hem de işlem için gerekli olan tam doğru termal profili elde edersiniz. Basit.