Tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại chống nước để làm khô các linh kiện bán dẫn?
Trong quy trình rửa sạch các linh kiện bán dẫn, mục tiêu chính là loại bỏ hết hơi ẩm trên bề mặt wafer một cách nhanh chóng, mà không để lại bất kỳ vết bẩn nào.
Trong thời gian dài, mọi người vẫn sử dụng các lò sấy bằng không khí nóng. Nhưng thực ra, việc làm nóng một lượng không khí lớn là một cách lãng phí năng lượng. Quá trình này diễn ra chậm, chiếm nhiều không gian, và tiêu tốn nhiều năng lượng. Đó là lý do tại sao chúng tôi chuyển sang sử dụng đèn hồng ngoại chống nước. Đây là phương pháp hiệu quả hơn nhiều.
Bí quyết nằm ở mật độ nhiệt
Chúng tôi sử dụng đèn có cường độ ánh sáng cao, vì chúng không làm ảnh hưởng đến không khí xung quanh. Ánh sáng từ đèn được truyền trực tiếp vào bề mặt wafer.
Kết quả là không cần phải chờ đợi cho đến khi không khí được làm nóng. Những ống thủy tinh này có thể đạt đến nhiệt độ mong muốn trong vài giây thôi. Điều này giúp tiết kiệm thời gian. Và vì chúng hoạt động rất nhanh, nên bạn không cần phải để máy hoạt động ở mức công suất tối đa trong khi máy đang chạy nguội.
Giải quyết vấn đề “ẩm ướt” trong quy trình làm việc
Môi trường rửa sạch vốn dĩ là môi trường ẩm ướt. Nếu sử dụng đèn hồng ngoại thông thường, chúng sẽ bị hỏng ngay lập tức. Điều này rõ ràng không tốt chút nào.
Để tránh điều này, chúng tôi niêm phong các điện cực và sử dụng các lớp vỏ thủy tinh đặc biệt để ngăn hơi ẩm xâm nhập vào bên trong đèn. Điều này giúp đèn không bị hỏng khi môi trường xung quanh ẩm ướt hoặc khi có hơi nước phun vào đèn.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: bạn không thể chỉ đơn giản bọc đèn trong nhựa là xong. Bạn cần cân bằng giữa việc ngăn hơi ẩm xâm nhập và việc cho phép nhiệt tỏa ra. Lớp vỏ bọc này có thể làm thay đổi phổ ánh sáng một chút, vì vậy chúng tôi phải dành nhiều thời gian để điều chỉnh bước sóng của ánh sáng. Chúng tôi muốn năng lượng có thể xuyên qua lớp nước trên bề mặt wafer mà không làm hỏng chính wafer đó.
Làm cho nhà máy trở nên thân thiện với môi trường hơn
Việc loại bỏ các lò sấy bằng không khí nóng giúp giảm thiểu tình trạng tiêu thụ năng lượng. Bạn có thể loại bỏ những máy thổi khí lớn và các đường ống phức tạp. Việc sử dụng ít thiết bị hơn giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng. Điều này giúp hoạt động của nhà máy trở nên hiệu quả hơn.
Tuy nhiên, có một điểm cần lưu ý: nếu bạn muốn thay thế máy sấy bằng đèn hồng ngoại, bạn không thể chỉ đơn giản cắm đèn vào và hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Những đèn này tiêu thụ rất nhiều điện năng ngay khi được bật. Bạn nên kiểm tra hệ thống dây điện của mình và có thể nâng cấp các thiết bị bảo vệ điện để tránh tình trạng mất điện mỗi khi máy bắt đầu hoạt động.