
在洁净室中正确使用红外线固化技术
如果你在半导体洁净室工作,那么你一定知道其中的挑战:有些部件需要被烘干或固化,但你又不能使用大型加热器,也不能随意使用化学溶剂。这时,红外线灯便派上了用场。
与通过强制对流来加热整个房间不同,这些红外线灯能够将能量精准地输送到需要加热的位置。这种方式更加高效,尤其是现在,无铅、环保的标准已经不再是“可选项”,而是必须遵守的规则。
为何红外线灯优于传统烤箱
想想普通烤箱的工作原理吧——它必须先加热部件周围的空气,之后部件才会变热。这个过程很慢。而红外线灯则不同。它利用短波或中波辐射,让涂层或粘合剂中的分子振动起来。这种方式更直接,速度也更快。因为热量不需要穿透厚厚的空气层,所以固化时间大大缩短。此外,还可以避免使用含有VOCs和铅的催化剂。整体上,这种方式更为高效。
权衡:功率与热量
为了达到半导体级的高温,我们需要使用高瓦数的石英管。好处是,它们能迅速产生热量。只需按下开关,几秒钟内就能达到所需温度。不过,这么高的功率也会产生大量的局部热量。如果设备没有良好的散热装置或通风系统,情况就会变得糟糕。这样一来,装配架可能会变形,或者,基材释放出的气体还可能触发洁净室里的烟雾报警器。因此,必须妥善管理热量,否则热量会反过来控制一切。
简单且清洁的设计
我们设计的红外线灯可以直接替代原有设备。我们使用了标准连接器,因此一旦某个管子损坏,只需更换即可,无需花费大量时间重新接线。最棒的是,这种设备没有风扇或鼓风机,不会让灰尘在晶圆周围飞舞。它是一个封闭的热能循环系统,没有空气流动,也就不会有颗粒物。这样,设备既安静又稳定,能够持续正常工作。