别再浪费时间了：为何无臭氧红外加热才是半导体加工的最佳选择？
让我们来谈谈那些等待的时间吧。如果你使用的是强制对流式加热方式，那你就明白我的意思了。实际上，你只是在加热一大团空气，让热量传递到被加工的物体上。这个过程非常缓慢——你需要花费数分钟时间来等待空气变热，然后再等待零件吸收这些热量。这无疑会大大拖慢整个生产流程的速度。
我们则采用不同的方式。我们使用无臭氧红外灯。与其加热空气，不如直接通过辐射来传递热量。这种方式更为直接高效。
红外灯会发出电磁波，这些电磁波能立刻作用于目标物体，无需中间介质，也无需等待空气变热。这样一来，产品的升温时间从几分钟缩短到了几秒。在需要大规模生产的场合，这些节省下来的时间其实相当可观。这样，你就可以在不需要建造更大工厂的情况下，处理更多芯片。
不过，普通红外灯也有其缺点。大多数短波红外灯会释放紫外线，而在半导体加工环境中，紫外线会生成臭氧。这是一个问题，因为臭氧是一种污染物，它会侵蚀有机层，还会氧化那些需要保持纯净状态的表面。
为了解决这个问题，我们使用了经过过滤的灯丝以及特殊的石英外壳。这些装置可以阻挡那些会导致臭氧生成的紫外线。最棒的是，你再也不必担心那些昂贵且复杂的废气处理系统了。
当然，这种技术也有其代价。高密度的红外加热需要大量的电能。如果你想进一步缩短生产周期，那就必须确保电路能够承受这么高的电流负荷。否则，就可能在生产过程中导致断电。
另外，请记住，辐射是有方向性的。热空气会像毯子一样包裹住物体，而红外辐射则更像是手电筒的光线。如果灯具的位置不合适，就会出现局部过冷的情况。因此，你需要花些时间来调整温度分布，确保所有部位都能均匀受热。
目前，大多数工厂都已经放弃了效率低下的传统烤箱，转而使用无臭氧红外加热技术。这是一种简单的替代方案，它能够有效消除工序之间的等待时间。