别再为加热设备的内壁而浪费能源了——应该把热量集中到晶圆上。
大多数普通加热元件都是向各个方向散发热量。在晶圆加工设备中，这显然是个大问题。因为大部分热量并没有真正作用于晶圆上，而是被设备的内部结构吸收掉了。这样一来，设备的内壁就会变得非常热，这无疑是一种能源的浪费。更糟糕的是，这种情况还会带来安全隐患——没人希望操作员因为伸手进入机器内部而受伤。
如何有效控制热量
我们可以通过使用定向红外线灯来解决这个问题。与其直接使用普通的石英管，不如使用反射器以及特殊的涂层，将热量精准地引导到需要的地方。这样，热量就能直接作用于晶圆表面，而不会扩散到设备的其他部分。
如果发现设备外壳变得过热，那很可能是因为红外线灯的辐射范围太广了。这说明热量正在泄漏出来。
难点所在
不过，这种加热方式并不是“设置好后就可以不管了”的。因为定向加热对精度要求很高。如果红外线灯的位置偏离了几个毫米，那么晶圆上就会出现冷点。另外，还需要定期检查反射器的情况——随着时间的推移，它们可能会氧化或变脏。一旦出现这种情况，热量又会开始扩散，设备内壁的温度也会再次上升。
让操作更安全、更简单
这类系统的优点在于，可以减少冷却风扇的负担。既然不需要把大量热量排放到设备内部，那么空气的温度就能保持较低水平。我建议将这些红外线灯与高精度传感器结合使用，这样就能实时监测晶圆表面的温度，而不仅仅是周围的空气温度。这样一来，不仅能保持设备内部的低温，还能确保获得所需的精确温度控制。很简单吧？