真空室红外加热器

在芯片制造过程中，你知道的，哪怕温度出现0.2℃的微小变化，都可能影响关键尺寸的精确度，进而降低产品良率。正因如此，真空室内的红外线加热器才显得如此重要——在低压环境下，当进行软烘烤或硬烘烤等处理时，传导和对流作用很弱，这时红外线加热器就能发挥重要作用。 设计要点 我们设计的这些加热器采用石英外壳...