কেন অপ্রয়োজনীয়ভাবে গরম বাতাস ব্যবহার করবেন? সেমিকন্ডাক্টর শুকানোর জন্য IR ব্যবহার করুন।
বেশিরভাগ ফ্যাব-ড্রাইং লাইনগুলোতে এখনও পুরানো পদ্ধতিই ব্যবহৃত হচ্ছে—ওয়েফারের উপর গরম বাতাস পাঠানো হয়, আর তারপর অপেক্ষা করতে হয়। আসলে আপনি শুধুমাত্র ওই আর্দ্রতা নিজে থেকে বাষ্পীভূত হওয়ার জন্য অপেক্ষা করছেন।
এটা ধীর ও কষ্টসাধ্য। আপনাকে অর্ধেক সময় বাতাস ও চেম্বারের দেয়ালগুলোকে উত্তপ্ত করতে কাটাতে হয়; আর তারপরই কোনো ফল পাওয়া যায়। এটা অপচয়মূলক।
মধ্যস্থতাকারীদের বাদ দেওয়া
ইনফ্রারেড (IR) হিটিং পদ্ধতিতে বাতাসকে উত্তপ্ত করার পরিবর্তে ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক রেডিয়েশন ব্যবহার করে শক্তি সরাসরি ওয়েফারে পাঠানো হয়।
এটাকে হিটার দিয়ে ঘর উত্তপ্ত করার সাথে তুলনা করা যেতে পারে। শরৎকালে সূর্যের নিচে দাঁড়ালেই ঠান্ডা অনুভূত হয় না; কিন্তু হিটার দিয়ে ঘর উত্তপ্ত হলেই ঠান্ডা অনুভূত হয়। শর্টওয়েভ IR ব্যবহার করলে ওয়েফারের পৃষ্ঠের তাপমাত্রা দ্রুত বৃদ্ধি পায়।
ফলে আপনার কাজ করার সময় কমে যায়। আর চেম্বারটি “স্থিতিশীল অবস্থায়” আসার জন্য অপেক্ষা করার দরকার নেই। আপনি সরাসরি কাজ শুরু করতে পারেন।
জায়গা সাশ্রয়
যখন আপনি বড় আকারের কনভেকশন ওভেনগুলো বাদ দিয়ে ছোট আকারের IR ল্যাম্প ব্যবহার করেন, তখন আপনার ক্লিনরুমের কিছু জায়গা ফিরে আসে। বড় আকারের চেম্বারগুলোর কারণে আর ঠোকর খাওয়ার ঝুঁকি থাকে না।
কিন্তু এখানে সাবধান থাকতে হবে। IR ল্যাম্পগুলো ছোট এলাকায়ও বেশি তাপ উৎপন্ন করে। যদি কনভেয়ারটি ধীর গতিতে চলে, অথবা ল্যাম্পগুলো খুব কাছাকাছি থাকে, তাহলে ওয়েফারটি ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে। তাই আপনার PID কন্ট্রোলার ও সেন্সরগুলো যথেষ্ট কার্যকর হওয়া উচিত, যাতে তাপমাত্রা বৃদ্ধি হওয়ার আগেই তা শনাক্ত করা যায়।
সীমাবদ্ধতা
IR হলো সব সমস্যার সমাধান নয়। এটা কাজ করে শুধুমাত্র তখনই, যখন উপাদানটি ঐ তরঙ্গদৈর্ঘ্যগুলোকে শোষণ করতে পারে।
যদি আপনি অত্যন্ত প্রতিফলনশীল উপাদান ব্যবহার করেন, তাহলে অনেক শক্তি শুধুমাত্র প্রতিফলিত হয়ে যাবে। তাই ল্যাম্পের কোণ পরিবর্তন করা বা অন্য ধরনের কোটিং ব্যবহার করা দরকার, যাতে তাপটি ওয়েফারে থেকে যায়।
তবুও, ফ্যাবে আমরা যে কাজগুলো করি, সেগুলোর জন্য এই দ্রুততাটাই যথেষ্ট।