লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, “সফ্ট বেক” ও “হার্ড বেক” প্রক্রিয়াগুলোর মাধ্যমেই ফটোরেজিস্টের গুণমান নির্ধারিত হয়। ২°C তাপমাত্রার পরিবর্তনে Ttop-এর মান ২০ ন্যানোমিটার পরিবর্তিত হতে পারে; এই পরিবর্তনটি ওয়েফারের উপর লাইনওয়েডথের পরিবর্তন হিসেবে প্রকাশ পায়। আপনার অবশ্যই এমন তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা থাকা দরকার, যা পরিমাপ করা, পুনরাবৃত্তি করা এবং ট্র্যাক করা যায়।
কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা নির্ভুল IR সেন্সরটি একটি স্থিতিশীল NIR এমিটার ও ক্যালিব্রেটেড ডিটেক্টরের সাহায্যে তৈরি করেছি; ফলে বেকিং প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের তাপমাত্রা ±০.১°C এর মধ্যে থাকে। সেন্সরটি সংকীর্ণ ওভেন জানালার মধ্য দিয়েও ঢুকতে পারে; আর অপটিক্সগুলো গ্যাস নির্গমন রোধ করে, যা ক্লাস ১–১০০ ক্লিনরুমগুলোতে নির্ভুল পঠন নিশ্চিত করে। কোনো ধরনের কণা উৎপন্ন না হওয়াটা কোনো দাবি নয়; এটা ঘূর্ণনশীল অংশগুলো বাদ দিয়ে এবং স্থির অ্যালাইনমেন্ট বজায় রেখেই সম্ভব। আউটপুটের পুনরাবৃত্তি সবসময় ০.১% এর মধ্যেই থাকে; ফলে পুনরায় ক্যালিব্রেশনের দরকার হয় না।
কেন এটা বেকিং ওভেনে কার্যকর?
ফটোরেজিস্ট বেকিং প্রক্রিয়ায় খুব কম তাপমাত্রা ব্যবহৃত হয়। এই সেন্সরটি ওয়েফারের উপর নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখে; ফলে ক্রিটিক্যাল ডাইমেনশন নিয়ন্ত্রণ আরও ভালো হয় এবং রিওয়ার্কের পরিমাণ কমে যায়। আপনি প্রক্রিয়ার সময়সীমা বাড়াতে পারেন, কিন্তু থ্রুপুট কমে যায় না; আর ত্রুটিগুলো দ্রুত শনাক্ত হয়। ইকুইপমেন্টের স্থিতিশীলতাও উন্নত হয়—কম ফলস অ্যালার্ম, কম অপ্রত্যাশিত হস্তক্ষেপ। ফলে উৎপাদনের হার ও সাইকেল টাইম বাড়ে।
কী করতে হবে?
ইনস্টলেশনের সময় ওভেনের অ্যাপারচার ঠিক করা এবং ফটোরেজিস্ট স্ট্যাকের জন্য উপযুক্ত এমিসিভিটি নির্ধারণ করা জরুরি। এটা ঠিক না করলে পঠনের ফলাফল ভুল হয়ে যাবে। আমরা সাধারণ ফিল্মগুলোর জন্য ক্যালিব্রেশন কিট সরবরাহ করি; কিন্তু নতুন স্ট্যাকগুলোর জন্য একবার ক্যালিব্রেশন করা প্রয়োজন। সেন্সরটিকে ওভেন কন্ট্রোলারের সাথে সংযুক্ত করে বিমের অ্যালাইনমেন্ট ঠিক করুন। একবার ঠিক হয়ে গেলে সিস্টেমটি ন্যূনতম রক্ষণাবেক্ষণের মাধ্যমেই কাজ করবে।