V výrobní hale je termální rozpočet pro každou série výroby pevně stanoven. Pokud dojde ke změnám v výstupním výkonu lampy nebo k odchylkám v teplotě...

Na lithografické lince může i několik stupňů mimo ideální teplotu při soft bake způsobit posun kritických rozměrů na waferu. Topný článek nepřidává...