Auf der Produktionsfläche ist das thermische Budget für jede Charge festgelegt. Wenn die Leistung der Lampe abweicht oder die Backtemperatur nicht konstant bleibt, geht die Kontrolle der kritischen Abmessungen verloren – und die Produktion kommt zum Stillstand. Die Ersatzlampen von ASML sind so konzipiert, dass sie eine konstante Temperatur während des Soft- und Hard-Baking gewährleisten. Dadurch bleiben die Profile des Photolackes von Charge zu Charge gleichbleibend.
Was wirklich wichtig ist
Diese Ersatzlampen garantieren eine stabile spektrale Ausgangsleistung sowie eine präzise Intensitätkontrolle. Dadurch bleibt die Temperatur auf der Waferoberfläche bei ±0,1°C konstant während des Baking-Prozesses. Die verwendeten Materialien sind für den Einsatz in Reinräumen der Klassen 1–100 geeignet – unter Standardbedingungen entstehen keine Partikel. Die Leistung der Lampen bleibt über Tausende von Stunden hinweg konstant, was dazu führt, dass die Maschinen 24/7 arbeiten können und unplanmäßige Stillstände vermieden werden. Das Ergebnis sind wiederholbare Baking-Profile, vorhersehbare Ergebnisse beim Etch-Vorgang sowie weniger Ausschuss aufgrund von temperaturbedingten Defekten.
Warum das in der Lithografie wichtig ist
Beim Soft-Baking verdampfen Lösungsmittel und es entsteht Spannung im Film. Beim Hard-Baking wird die Haftung sowie die Widerstandsfähigkeit gegenüber dem Etch-Vorgang verbessert. Mit diesen Lampen folgt die Baking-Kurve genau dem vorgegebenen Schema. Dadurch wird die Prozesskontrolle verbessert und der Energieverbrauch pro Wafer reduziert. Es entstehen kürzere Zykluszeiten – ohne dass man auf Temperaturentwicklungen Rücksicht nehmen muss. Zudem bedeutet weniger Austausch der Lampen eine bessere Auslastung der Maschinen. Das Ergebnis sind stabile Abmessungen der Wafer, weniger Nacharbeiten sowie konstante Erträge bei der Produktion.
Praktische Details
Die Kompatibilität hängt von der jeweiligen Maschine sowie von der Kalibrierung ab. Vor der Installation sollten Sie den Lampencode, die Anschlussart sowie die Stromversorgung auf die jeweilige ASML-Maschinenversion überprüfen. Der Austausch der Lampen sollte in regelmäßigen Wartungsintervallen erfolgen, damit die Kalibrierung weiterhin gewährleistet bleibt. Die Lampe sollte als Teil des thermischen Systems betrachtet werden – nicht einfach als eigenständiger Bestandteil.