Lithografie Heizelement für sanfte Erhitzung
Im Bereich der 300-mm-Fabriken ist die „Soft Bake“-Prozedur keine Art Aufwärmphase – sie stellt vielmehr den ersten Schritt bei der Kontrolle der...
Lampe für den Halbleiterlithografieofen
In einer 7x24-Stunden-Fabrik ist das Trocknen des Fotolacks keine einfache Routineaufgabe. Es handelt sich dabei um einen entscheidenden Schritt –...
Ersatzlampen für ASML Lithografiegeräte
Auf der Produktionsfläche ist das thermische Budget für jede Charge festgelegt. Wenn die Leistung der Lampe abweicht oder die Backtemperatur nicht...