Die Sicherheit Ihrer Wafer gewährleisten: Die Wahrheit über die Dämpfungsstärke
Wenn man Siliziumwafer erhitzt, darf es keine Fehler geben. Ein kleiner elektrischer Funke oder ein Punkt, an dem die Isolierung versagt, ist nicht nur lästig – er kann den Heizelement zerstören, die Wafer beschädigen und – wenn man Pech hat – auch die Steuerboards ruinieren. Deshalb betrachten wir die Dämpfungsstärke als entscheidenden Faktor.
Wir prüfen jede einzelne Lampe – ohne Ausnahmen.
Einige Unternehmen führen nur Stichprobenprüfungen durch. Sie prüfen einige Lampen und gehen davon aus, dass die restlichen in Ordnung sind. Wir tun das nicht. Jede einzelne Lampe muss vor dem Versand einer hohen Spannungstest unterzogen werden.
Wir suchen nach winzigen Löchern oder Mikrorissen im Quarz sowie in den Beschichtungen – Dingen, die mit bloßem Auge nicht erkennbar sind. Wenn eine Lampe auch nur einen kleinen Stromfluss verliert, landet sie im Müll.
Warum das wichtig ist: Die Erhitzung der Wafer erzeugt starke Temperaturunterschiede. Diese Hitze übt großen Druck auf die Dichtungen und Anschlüsse aus. Wenn die Isolierung schwach ist, dehnt sich das Material beim Erhitzen aus – das kann dazu führen, dass es zu Stromlecks kommt. Wir sorgen dafür, dass diese „Tür“ geschlossen bleibt.
Der Kampf um Platz
Beim Verarbeiten von Wafern müssen die Lampen in begrenztem Raum untergebracht werden. Wenn hohe Spannungen in solch enger Nähe angelegt werden, entsteht das Problem des „Surface Tracking“. Im Grunde versucht der Strom, über die Oberfläche des Isolators einen kurzen Weg zu finden.
Wir verwenden spezielle Dämpfungsbeschichtungen, um das zu verhindern.
Ein Hinweis: Höhere Spannungen sind zwar vorteilhaft, da dadurch längere Lampen verwendet werden können, ohne dass es zu Leistungseinbußen kommt. Doch dadurch wird die Isolierung stark beansprucht. Wenn Sie diesen Weg wählen, müssen Sie sicherstellen, dass die Befestigungselemente ordnungsgemäß geerdet sind. Das ist einfach gesunder Menschenverstand.
Sicherheit und Wärme in Einklang bringen
Es besteht hier ein gewisser Balanceakt. Wenn man eine dicke Schicht Isolierung verwendet, ist die Lampe sehr sicher – doch dadurch kann sich die Art und Weise, wie die Wärme auf die Wafer übertragen wird, leicht verändern.
Man möchte nicht zwischen „Sicherheit“ und „Genauigkeit“ wählen müssen. Wir kümmern uns darum, dass beide Aspekte berücksichtigt werden – damit Sie die notwendige elektrische Sicherheit haben, ohne dass die thermische Homogenität beeinträchtigt wird. Es funktioniert einfach.