چرا باید از استفاده از هوای گرم صرفنظر کرد؟ استفاده از تکنولوژی مادون قرمز برای خشک کردن نیمههادیها
اکثر دستگاههای خشککن در کارخانههای تولید نیمههادی، همچنان از روشهای قدیمی استفاده میکنند؛ یعنی هوای گرم را روی ویفر پمپاژ کرده و سپس منتظر میمانند تا لایه رطوبت به تدریج تبخیر شود.
این روش آهسته و پرزحمت است؛ شما نیمی از زمان خود را صرف گرم کردن هوا و دیوارههای محفظه میکنید، در حالی که قطعه مورد نظر هنوز هیچ تغییری نداشته است. این روش باعث هدر رفتن انرژی زیادی میشود.
حذف واسطهها
تکنولوژی گرمایش مادون قرمز، روش کار را تغییر میدهد؛ به جای گرم کردن هوای اطراف قطعه، از تابش الکترومغناطیسی برای انتقال انرژی مستقیماً به قطعه استفاده میشود.
میتوانید آن را مانند تفاوت بین گرم کردن یک اتاق با هیتر و قرار گرفتن در معرض نور خورشید در روزهای سرد در نظر بگیرید؛ در این روش، گرما بلافاصله احساس میشود. با استفاده از موجهای کوتاه مادون قرمز، دمای سطح قطعه تقریباً بلافاصله پس از برخورد با آن، افزایش مییابد.
زمان لازم برای خشک کردن قطعه کاهش مییابد؛ دیگر نیازی نیست منتظر بمانید تا محفظه به حالت تعادل برسد. شما میتوانید فوراً شروع به کار کنید.
صرفهجویی در فضا
وقتی از فرهای بزرگ برای گرم کردن قطعات استفاده نکنید، میتوانید فضای بیشتری در اتاقهای تمیز استفاده کنید. این کار بسیار مفید است؛ چرا که دیگر نیازی نیست از روی جعبههای بزرگ برخورد کنید.
اما باید مراقب باشید؛ لامپهای مادون قرمز، انرژی زیادی را در فضای کوچکی تولید میکنند. اگر سیستم حمل و نقل قطعات کند باشد یا لامپها خیلی نزدیک به قطعه باشند، قطعه ممکن است آسیب ببیند. بنابراین باید از کنترلکنندهها و سنسورهای مناسب برای تشخیص افزایش دما استفاده کنید.
معایب
تکنولوژی مادون قرمز راهحل جادویی برای همه مشکلات نیست؛ این روش تنها در صورتی مؤثر است که ماده مورد نظر بتواند طول موجهای مربوطه را جذب کند.
اگر با مادهای کاملاً بازتابدهنده کار کنید، بخش زیادی از انرژی از روی سطح ماده بازتاب خواهد شد. شاید لازم باشد زاویه لامپها را تغییر دهید یا از روکشهای مناسبی برای جذب گرما استفاده کنید.
با این حال، برای اکثر کارهایی که در کارخانههای تولید نیمههادی انجام میشود، سرعتی که با این روش به دست میآید، ارزش تلاشهای اضافی را دارد.