دیگر انرژی خود را هدر ندهید: چرا استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا اهمیت دارد؟
اگر از لامپهای مادون قرمز در فرآیند تولید ویفرها استفاده میکنید و از بازتابندههای با کیفیت بالا استفاده نمیکنید، در واقع نصف انرژی لامپ را هدر میدهید. این مشکل سادهای است؛ لامپها انرژی را در هر دو جهت تابش میدهند. بدون وجود راهی برای هدایت این انرژی به سمت ویفر، فقط هوای اتاق گرم میشود.
در همین جاست که استفاده از آلومینیوم پوشیده شده با طلا مفید میشود.
چرا طلا؟ (و چرا نه فقط آلومینیوم صیقلی؟)
آلومینیوم صیقلی هم کار خود را انجام میدهد، اما در طول موجهای بلند مادون قرمز، عملکرد ضعیفی دارد. طلا متفاوت است؛ طلا انرژی مادون قرمز را با کارایی بسیار بالاتری منعکس میکند.
ما کل بازتابنده را از طلا ساخته نمیکنیم؛ این کار بیمعنی است. در عوض، از پایه آلومینیومی با دقت بالا استفاده کرده و سطح آن را با طلا پوشانیم. در نتیجه، بازتابنده خود انرژی را جذب نمیکند؛ بلکه آن را دقیقاً به جای مناسبش بازمیگرداند.
هدایت انرژی به جای مناسب
مسئله فقط مربوط به ماده نیست؛ بلکه مربوط به شکل بازتابنده نیز هست. با تغییر شکل بازتابنده، میتوانیم انرژی مادون قرمز را دقیقاً در یک نقطه خاص روی ویفر تمرکز دهیم. این راز سریع رسیدن به دمای مورد نظر بدون نیاز به افزایش توان لامپ است.
اما مراقب باشید: نباید این کار را بیش از حد انجام دهید. اگر پرتو نور را خیلی متمرکز کنید، نقاط داغی روی ویفر ایجاد خواهد شد. اگر کنترلر PID شما برای مقابله با این انرژی اضافی طراحی نشده باشد، ممکن است لبههای ویفر آسیب ببیند. این یک تعادل دقیق است.
کاربردهای واقعی و «قانون طلایی» تمیزکاری
این بازتابندهها برای جایگزینی ساده طراحی شدهاند. ما آنها را با دقت بالا ساختهایم تا در حالی که سیستم با سرعت بالا کار میکند، جای خودشان را حفظ کنند.
اما نکته مهم این است که طلا مادهای حساس است؛ طلا از آلودگی متنفر است. اگر روغن یا بخارات شیمیایی روی سطح طلا بماند، بازتابندگی طلا کاهش مییابد و دوباره انرژی هدر میرود. لطفاً از پدهای ساینده استفاده نکنید؛ این کار باعث از بین رفتن لایه طلا میشود. بهتر است از پدهای نرم و مبتنی بر حلال استفاده کنید. مراقب باشید؛ در غیر این صورت مجبور خواهید شد زودتر بازتابنده جدیدی خریداری کنید.