Arrêtez de perdre du temps : pourquoi les lampes infrarouges sans ozone sont la solution idéale pour le semi-traitement des matériaux
Parlons de ce temps d’attente inutile. Si vous utilisez une méthode de chauffage par convection forcée, vous savez exactement ce que je veux dire. En fait, vous chauffez simplement un gros volume d’air pour que cette chaleur atteigne votre substrat. C’est lent : il faut des minutes rien que pour attendre que l’air devienne chaud, puis encore plus de temps pour que le substrat absorbe cette chaleur. C’est vraiment un frein à votre productivité.
Nous, nous faisons les choses différemment. Nous utilisons des lampes infrarouges sans ozone. Au lieu de chauffer l’air, nous transférons la chaleur par rayonnement. C’est plus efficace. Les lampes infrarouges émettent des ondes électromagnétiques qui atteignent directement le substrat. Pas de médiateur, pas d’attente pour que l’air se réchauffe. Le temps nécessaire pour que le substrat atteigne la température souhaitée passe de minutes à secondes. Lorsque vous travaillez dans une usine de grande capacité, ces quelques secondes gagnées s’additionnent rapidement. Vous pouvez ainsi traiter davantage de wafer sans avoir besoin de construire une usine plus grande.
Mais il y a un problème avec les lampes infrarouges classiques : la plupart d’entre elles émettent des rayons ultraviolets, ce qui crée de l’ozon dans l’environnement de traitement. C’est un problème, car l’ozon est un polluant qui peut endommager les couches organiques ou oxyder des surfaces qui doivent rester propres.
Pour résoudre ce problème, nous utilisons des filaments filtrés et des enveloppes en quartz spéciales. Ils bloquent les longueurs d’onde ultraviolets responsables de la formation d’ozon. Le meilleur aspect ? Vous n’avez plus besoin de vous soucier des systèmes coûteux de purification de l’air.
Maintenant, je veux être honnête au sujet des compromis à accepter. Le chauffage par infrarouges à haute densité consomme beaucoup d’énergie. Si vous choisissez des lampes à haute puissance pour gagner chaque milliseconde possible, assurez-vous que vos circuits électriques peuvent supporter ces pics de consommation. Vous ne voulez certainement pas que le circuit électrique se coupe au milieu du processus.
De plus, rappelez-vous que le rayonnement infrarouge est directionnel. L’air chaud entoure le substrat comme une couverture, mais les rayons infrarouges agissent plutôt comme une lampe de poche. Si vos lampes ne sont pas correctement positionnées, vous aurez des zones froides. Il vous faudra donc passer du temps à analyser le profil thermique pour garantir que tout se réchauffe uniformément.
La plupart des usines abandonnent déjà les fours lents au profit des lampes infrarouges sans ozone. C’est un changement simple, mais très efficace : cela permet d’éliminer le temps d’attente entre les différentes étapes du processus.