חיישן אינפרא אדום מדויק לשבבים

בתהליך הליתוגרפיה, שלבי האפייה הרכה והקשה הם אלו בהם נקבע 프로פיל הפוטורזיסט. שינוי של 2°C יכול לגרום לשינוי של 20 ננומטרים ב-Ttop, ושינוי זה מתבטא...