वेफरों को गर्म करना, बिना किसी खतरे के
ईमानदारी से कहें तो, रासायनिक सफाई के दौरान वेफरों को गर्म करना बहुत ही जोखिम भरा काम है। ऐसी स्थिति में आप ज्वलनशील घोलों एवं वाष्पों के संपर्क में होते हैं… ऐसी स्थिति में थोड़ी सी चिंगारी भी विस्फोट का कारण बन सकती है। ऐसी स्थिति में सामान्य इन्फ्रारेड लैंप का उपयोग न केवल जोखिम भरा है, बल्कि यह एक बड़ा खतरा भी है।
हमने एक बेहतर तरीका खोजा है… गर्मी पैदा करने वाले घटकों को हवा के संपर्क में न आने देकर, उन्हें एक सीलबंद कवर में रखा जाता है।
खतरनाक पदार्थों को बाहर रखना
हम सबसे पहले इन्फ्रारेड घटकों को उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज ग्लास में लपेटते हैं… फिर इसे रासायनिक पदार्थों से सुरक्षित, विस्फोट-रोधी कवर में रख दिया जाता है। इस तरह विद्युत ऊर्जा एवं विषाक्त रासायनिक वाष्पों के बीच एक भौतिक अवरोध बन जाता है… इससे विषाक्त वाष्पें वेफरों तक नहीं पहुँच पातीं।
हम ऐसे गैसकेट भी उपयोग में लाते हैं, जो कठोर सफाई एजेंटों का विरोध कर सकें… यदि सील टूट जाए, तो लैंप तुरंत ही नष्ट हो जाता है… इसलिए हम ऐसे लैंपों को उच्च दबाव को सहन करने योग्य बनाते हैं… “काफी” होना ही पर्याप्त नहीं है।
दबाव की स्थिति में भी ठंडा रहना
शॉर्टवेव इन्फ्रारेड तरंगें बहुत ही उपयोगी हैं… क्योंकि ये वेफरों को जल्दी ही गर्म कर देती हैं… लेकिन इसमें एक समस्या है… जब इतनी गर्मी को एक सीलबंद ट्यूब में रखा जाता है, तो दबाव बढ़ जाता है… हमने बहुत मेहनत की है, ताकि लैंप अपने ही कवर को नष्ट न कर दे।
और कृपया, साधारण ऑन/ऑफ स्विच का उपयोग न करें… ऐसी स्थिति में एक सटीक PID कंट्रोलर आवश्यक है… इससे सिस्टम लगातार ऊर्जा को नियंत्रित करता रहता है… ताकि वेफरों का तापमान रासायनिक पदार्थों के विस्फोट-बिंदु से काफी नीचे रहे… यही तो सबसे महत्वपूर्ण है।
त्याग/चुनौतियाँ
कुछ भी परफेक्ट नहीं है… ऐसी सुरक्षात्मक परतों के कारण थोड़ा तापीय प्रतिरोध उत्पन्न हो जाता है… इस कारण गर्मी का संचरण धीमा हो जाता है… लेकिन यह कोई बड़ी समस्या नहीं है… आपको बस अपने लक्ष्य तापमान तक पहुँचने हेतु अधिक वॉटेज वाले लैंपों का ही उपयोग करना होगा… बस यह सुनिश्चित करें कि आपकी वेंटिलेशन प्रणाली ठीक से काम कर रही है… आप नहीं चाहेंगे कि वाष्पें हीटर के आसपास जमा हो जाएँ… चाहे वह कितना भी अच्छी तरह से सील्ड हो।