अपने सिलिकॉन वेफरों को सुरक्षित रखना: डाइइलेक्ट्रिक इंटीग्रिटी संबंधी सच्चाई
जब आप सिलिकॉन वेफरों को गर्म कर रहे होते हैं, तो आपको किसी भी तरह की गलती की गुंजाइश ही नहीं है। थोड़ा सा भी विद्युत धारा प्रवाह होना, या इन्सुलेशन में कमजोरी होना, कोई छोटी समस्या नहीं है… ऐसी स्थिति में हीटिंग एलिमेंट नष्ट हो जाता है, वेफर भी खराब हो जाता है… और अगर आपके पास कोई दुर्भाग्य है, तो कंट्रोलर बोर्ड भी नष्ट हो जाता है। इसीलिए हम डाइइलेक्ट्रिक इंटीग्रिटी को बहुत ही महत्वपूर्ण मानते हैं।
हम हर एक लैंप का परीक्षण करते हैं… कोई अपवाद नहीं।
कुछ कंपनियाँ “बैच सैंपलिंग” करती हैं… वे कुछ ही लैंपों का परीक्षण करके यह मान लेती हैं कि बाकी सभी लैंप ठीक हैं। हम ऐसा नहीं करते… हर एक लैंप का उच्च-वोल्टेज परीक्षण किया जाता है, इससे पहले कि वह शिपिंग डॉक तक पहुँचे।
हम क्वार्ट्ज एवं कोटिंगों में मौजूद छोटे-छोटे छिद्रों/दरारों की जाँच करते हैं… ऐसी चीजें तो मानव आँखों से दिख ही नहीं सकतीं। अगर किसी लैंप से थोड़ी भी विद्युत धारा लीक हो जाती है, तो उसे तुरंत फेंक दिया जाता है।
यह इसलिए महत्वपूर्ण है… क्योंकि वेफरों को गर्म करने से भारी तापीय तनाव पैदा होता है… ऐसी स्थिति में इन्सुलेशन पर बहुत दबाव पड़ता है… अगर इन्सुलेशन कमजोर है, तो गर्म होने पर सामग्री फैल जाती है… जिससे विद्युत धारा लीक हो सकती है… हम यह सुनिश्चित करते हैं कि ऐसी स्थिति ही न हो।
स्पेस की समस्या
वेफर प्रसंस्करण में, लैंपों को बहुत ही छोटे स्थान में रखना पड़ता है… ऐसी स्थिति में “सर्फेस ट्रैकिंग” नामक समस्या उत्पन्न हो जाती है… वास्तव में, विद्युत धारा इन्सुलेटर की सतह पर ही प्रवाहित होने की कोशिश करती है…
हम ऐसी स्थिति को रोकने हेतु विशेष डाइइलेक्ट्रिक कोटिंगों का उपयोग करते हैं।
ध्यान देने योग्य बात यह है… कि उच्च वोल्टेज का उपयोग करने से लंबे लैंपों का उपयोग संभव हो जाता है… लेकिन ऐसी स्थिति में इन्सुलेशन पर बहुत दबाव पड़ता है… ऐसी स्थिति में अपने माउंटिंग ब्रैकेटों को ठीक से ग्राउंड करना आवश्यक है… यह तो सामान्य सुरक्षा उपाय ही है।
सुरक्षा एवं ऊष्मा का संतुलन
यहाँ एक तरह का संतुलन बनाना आवश्यक है… अगर मोटी परत की इन्सुलेशन का उपयोग किया जाए, तो लैंप बहुत ही सुरक्षित रहता है… लेकिन ऐसी स्थिति में ऊष्मा वेफर तक पहुँचने में थोड़ी परेशानी हो सकती है…
आपको “सुरक्षा” एवं “सटीकता” में से किसी एक को चुनने की आवश्यकता नहीं है… हम इन दोनों के बीच संतुलन बनाने में ही समय व्यतीत करते हैं… ताकि आपको आवश्यक विद्युत सुरक्षा मिल सके… और वेफरों की ऊष्मा-संबंधी समस्याएँ न हों।