Di area litografi, proses “soft bake” dan “hard bake” merupakan tahap di mana profil fotoresist ditentukan. Perubahan suhu sebesar 2°C dapat menyebabkan perubahan nilai Ttop sebesar 20 nm. Perubahan ini akan berdampak pada variasi lebar garis pada permukaan wafer. Oleh karena itu, diperlukan kontrol suhu yang akurat, sehingga hasil pengukuran dapat dipantau secara konsisten.
Apa yang penting? Kami membangun sensor IR yang presisi ini berdasarkan emiter NIR yang stabil serta detektor yang telah dikalibrasi dengan baik. Dengan demikian, keseragaman suhu pada permukaan wafer tetap terjaga dalam rentang ±0,1°C selama proses pembakaran berlangsung. Sensor ini dapat dimasukkan ke dalam oven yang memiliki ruang sempit, dan bagian optiknya dirancang untuk mencegah keluarnya gas dari dalam oven. Hal ini memastikan bahwa hasil pengukuran tetap konsisten di ruang bersih kelas 1–100. Tidak adanya partikel yang terbentuk merupakan hal yang penting; hal ini dicapai dengan menghilangkan komponen-komponen yang berputar dan memastikan alur sinar tetap tetap. Repeatabilitas hasil pengukuran tetap berada dalam kisaran 0,1%, sehingga proses produksi dapat berjalan tanpa perlu kalibrasi ulang.
Mengapa hal ini penting dalam proses pembakaran? Proses pembakaran fotoresist membutuhkan kontrol suhu yang ketat. Sensor ini memungkinkan pengendalian suhu yang akurat pada seluruh permukaan wafer, sehingga kontrol dimensi yang kritis dapat dilakukan dengan lebih baik, dan jumlah produk yang harus diperbaiki berkurang. Proses produksi pun dapat berjalan lebih efisien, tanpa mengorbankan kecepatan produksi. Stabilitas peralatan juga meningkat—adanya alarm palsu dan intervensi yang tidak perlu pun berkurang. Hasilnya adalah peningkatan tingkat produksi dan waktu siklus yang dapat direncanakan dengan lebih baik.
Apa yang perlu diperhatikan? Pemasangan sensor ini memerlukan penyesuaian terhadap ukuran lubang oven serta nilai emisivitas fotoresist. Jika hal ini tidak dilakukan dengan benar, hasil pengukuran akan menjadi tidak akurat. Kami menyediakan kit kalibrasi yang cocok untuk berbagai jenis film fotoresist, tetapi untuk jenis film yang baru, mungkin diperlukan kalibrasi tambahan. Lakukan penyesuaian singkat agar sensor dapat terhubung ke kontroler oven dan alur sinar dapat disesuaikan. Setelah itu, sistem akan berfungsi dengan minimal perawatan.