300mmファブのラインでは、ソフトベイクというのは単なるウォームアップではありません。それは、パターンの寸法制御において最も重要な工程なのです。ウェハーの温度が2℃変動するだけで、パターンの寸法がナノメートル単位で変わってしまい、その結果、大量のウェハーが不良品になってしまいます。そのため、加熱...

7x24時間稼働するファブでは、フォトレジストの焼成処理は単なる工程の一つに過ぎません。これは、正常に機能するパターンと廃棄されるウェハとを分ける重要なポイントです。 オーブン内のランプの位置がずれると、均一な加熱が得られず、重要な寸法制御も失われます。手動で調整しても、歩留まりを改善することはで...

製造現場では、各露光ロットにおける熱的条件は厳密に定められています。もしランプの出力が変動したり、焼成温度が不安定になったりすると、重要な寸法制御が失われ、生産が停止してしまいます。ASMLのリソグラフィーランプの予備部品は、ソフトベイクやハードベイクの過程でも熱的条件を安定させるように設計されて...