클린룸 오븐 적외선 히터

300mm 라인에서 베이크 온도가 0.5°C만 변동해도 CD 제어에 치명적이며 스크랩율이 상승한다. Class 1–100 클린룸 환경에서는 히터에서 나온 입자 한 개가 웨이퍼 다이를 손상시킬 수 있다. 당사는 두 가지 고장 원인을 모두 제거하기 위해 클린룸용 적외선...