웨이퍼 처리 장비용 온도 센서

도구의 벽면을 가열하는 것을 그만두고, 웨이퍼를 직접 가열해보세요. 대부분의 표준 가열 소자들은 에너지를 모든 방향으로 방출합니다. 웨이퍼 가공 장비에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 생각해보세요: 그 열 중 대부분은 웨이퍼에 전혀 닿지 않습니다. 그 열은 단지 장비의...