에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

화학적 세척 과정에서 웨이퍼를 가열하는 것은 정말 위험한 일입니다. 연료성 용매와 증기들이 있기 때문에, 조금만 방심해도 폭발할 수 있습니다. 그런 환경에서 일반적인 적외선 램프를 사용하는 것은 위험할 뿐만 아니라 재앙을 초래할 수도 있습니다. 작은 스파크나 과열된...